[发明专利]一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法在审
| 申请号： | 201611214759.5 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108238583A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 郝鹏飞;何枫;高叶 | 申请（专利权）人： | 中国石油天然气股份有限公司 |
| 主分类号： | B81C1/00 | 分类号： | B81C1/00;B82B1/00;B81B1/00 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 朱坤鹏;王春光 |
| 地址： | 100007 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种阶梯型微纳米尺度槽道模型及其制备方法，该阶梯型微纳米尺度槽道模型包括基底(9)，基底(9)的上表面内含有依次连通的微槽道发展段(3)、纳米槽道(4)和微槽道测量段(5)，基底(9)还设有通孔状的入口(1)和出口(7)，纳米槽道(4)的底面到基底(9)的上表面的距离小于微槽道发展段(3)的底面到基底(9)的上表面的距离，纳米槽道(4)的底面到基底(9)的上表面的距离小于微槽道测量段(5)的底面到基底(9)的上表面的距离。该阶梯型微纳米尺度槽道模型结构简单，通过两次刻蚀的刻蚀方法可以实现纳米级槽道的制备，同时可以通过微槽道测量段内的流动可视化测量得到纳米槽道内部的流动速度。 | ||
| 搜索关键词： | 槽道 基底 上表面 微槽道 微纳米尺度 阶梯型 底面 测量段 制备 可视化测量 两次刻蚀 模型结构 依次连通 纳米级 通孔状 刻蚀 流动 出口 | ||
【主权项】：
1.一种阶梯型微纳米尺度槽道模型，其特征在于，该阶梯型微纳米尺度槽道模型包括基底(9)，基底(9)的上表面内含有依次连通的微槽道发展段(3)、纳米槽道(4)和微槽道测量段(5)，基底(9)还设有通孔状的入口(1)和出口(7)，微槽道发展段(3)通过入口(1)与基底(9)的下表面外连通，微槽道测量段(5)通过出口(7)与基底(9)的下表面外连通，纳米槽道(4)的底面到基底(9)的上表面的距离小于微槽道发展段(3)的底面到基底(9)的上表面的距离，纳米槽道(4)的底面到基底(9)的上表面的距离小于微槽道测量段(5)的底面到基底(9)的上表面的距离。
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