[发明专利]一种毛缝结合的仿生气体流速传感器有效
| 申请号： | 201710141128.3 | 申请日： | 2017-03-10 |
| 公开（公告）号： | CN106872724B | 公开（公告）日： | 2019-05-31 |
| 发明（设计）人： | 张俊秋;陈思琪;陈道兵;陈文娜;宋洪烈;刘林鹏;张卡;牛士超;韩志武;王慧远;穆正知;李博;朱斌 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | G01P5/08 | 分类号： | G01P5/08 |
| 代理公司： | 长春市四环专利事务所(普通合伙) 22103 | 代理人： | 张建成 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种毛缝结合的仿生气体流速传感器，是由嵌缝毛杆、固定底座、第一电极引线和第二电极引线构成，嵌缝毛杆与固定底座装配成一体，形成悬臂梁结构；左侧面引出第一电极引线，右侧面分引出第二电极引线，第一电极引线和第二电极引线均固定于固定底座上，其中嵌缝毛杆由弹性绝缘材料制成，其上表面、左侧面和右侧面均涂覆有导电材料层，右侧面的导电材料层上水平方向加工微纳狭缝。当有微小流速的气体流过时，气流与嵌缝毛杆相互作用，使嵌缝毛杆发生一定程度的偏转，当右侧面微纳狭缝受到拉伸时，偏角越大，狭缝宽度越大，电阻也越大；受到压缩时，偏角越大，狭缝宽度越小，电阻也就越小，从而实现对气体流速的感知测量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 结合 仿生 气体 流速 传感器 | ||
【主权项】：
1.一种毛缝结合的仿生气体流速传感器，其特征在于：是由嵌缝毛杆(1)、固定底座(2)、第一电极引线(3)和第二电极引线(4)构成，嵌缝毛杆(1)与固定底座(2)装配成一体，形成悬臂梁结构；左侧面(12)引出第一电极引线(3)，右侧面(13)分引出第二电极引线(4)，第一电极引线(3)和第二电极引线(4)均固定于固定底座(2)上，其中嵌缝毛杆(1)由弹性绝缘材料制成，嵌缝毛杆(1)上表面(11)、左侧面(12)和右侧面(13)均涂覆有导电材料层，右侧面(13)的导电材料层上水平方向加工有微纳狭缝(14)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吉林大学，未经吉林大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201710141128.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
