[发明专利]晶棒粘接定位夹具及晶棒粘接方法有效
申请号: | 201710427168.4 | 申请日: | 2017-06-08 |
公开(公告)号: | CN109016192B | 公开(公告)日: | 2020-11-13 |
发明(设计)人: | 董国樑;卓珍珍;邢建龙;张治国;平洛 | 申请(专利权)人: | 隆基绿能科技股份有限公司 |
主分类号: | B28D5/00 | 分类号: | B28D5/00;B28D7/04 |
代理公司: | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人: | 钟欢 |
地址: | 710100 陕西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | 本发明公开的晶棒粘接定位夹具,用于定位晶托和晶棒,包括第一定位组件和连接于第一定位组件的第二定位组件,第一定位组件包括两个用于定位晶托两端的定位臂,第二定位组件包括一个定位杆和连接于定位杆两端的两个夹持臂,定位杆用于从晶棒的侧面支撑晶棒,两个夹持臂与两个定位臂相对应,夹持臂夹持所述晶棒的两端。本发明公开的晶棒粘胶方法,包括步骤:提供待粘接的晶托和晶棒;利用定位臂对晶托进行定位;利用定位杆对晶棒的侧面进行定位,利用夹持臂对晶棒的端面进行夹持。本发明的晶棒粘接定位夹具及晶棒粘胶方法解决了现有的晶棒粘接定位器不具有流动性,粘胶过程,作业效率低下、粘接精度不稳定的问题。 | ||
搜索关键词: | 晶棒粘接 定位 夹具 方法 | ||
【主权项】:
1.晶棒粘接定位夹具,其特征在于,用于定位待粘接的晶托(31)及晶棒(40),所述晶棒粘接定位夹具包括第一定位组件(1)和连接于所述第一定位组件(1)的第二定位组件(2),所述第一定位组件(1)包括两个用于定位所述晶托(31)两端的定位臂(11),所述第二定位组件(2)包括一个定位杆(20)和连接于所述定位杆(20)两端的两个夹持臂(21),所述定位杆(20)用于从所述晶棒(40)的侧面支撑晶棒(40),两个所述夹持臂(21)与两个定位臂(10)相对应,每个所述夹持臂(21)均与一个对应的定位臂(10)相对设置,两个所述夹持臂(21)夹持所述晶棒(40)的两端。
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