[发明专利]一种胶体粒子掩膜制备装置在审
| 申请号： | 201811186181.6 | 申请日： | 2018-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN109055936A | 公开（公告）日： | 2018-12-21 |
| 发明（设计）人： | 秦歌;李永亮;刘凯瑞;王江帆;闫亮;明平美 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | C23F1/02 | 分类号： | C23F1/02;C23F1/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454003 河南*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | 本发明提供一种在圆柱表面制备掩膜的装置。所述的掩膜制备装置包括槽体、升降装置、调速装置、溶液加热恒温装置、粒子平整装置和液面监测装置。其中，升降装置包括电机、螺母丝杠、导轨、移动平台和螺母滑块；调速装置包括电机、调速齿轮组、调速箱、输出轴和锁紧螺母；粒子平整装置包括调整螺栓、压辊、支撑架和平整安装架；液面监测装置包括液面监测计和稳液管。该装置可实现工件的自动旋转和上下微调，可使溶液中的胶体粒子随工件的旋转自组装到工件表面，再通过粒子平整装置去除多余的粒子，从而得到平整的膜层。此装置解决了在圆柱曲面表面加工微结构掩膜制备的技术难题，成本低，加工效率高。 | ||
| 搜索关键词： | 粒子 平整装置 掩膜制备装置 液面监测装置 调速装置 胶体粒子 升降装置 掩膜 制备 电机 平整 调速齿轮组 表面加工 调整螺栓 工件表面 恒温装置 技术难题 加工效率 螺母滑块 螺母丝杠 溶液加热 锁紧螺母 液面监测 移动平台 圆柱表面 圆柱曲面 自动旋转 安装架 调速箱 输出轴 微结构 支撑架 自组装 槽体 导轨 膜层 压辊 液管 去除 微调 | ||
【主权项】：
1.一种胶体粒子掩膜制备装置，包括槽体（1）、升降装置（2）、调速装置（3）、溶液加热恒温装置（4）、粒子平整装置（5）和液面监测装置（6），其特征在于：所述的槽体（1）包括固定槽（101）和溶液槽（102）；所述的升降装置（2）包括电机（201）、螺母丝杠（202）、导轨（203）、螺母滑块（204）和移动平台（205）；所述的调速装置（3）包括电机（301）、调速齿轮组（302）、调速箱（303）、输出轴（304）和锁紧螺母（305）；所述的粒子平整装置（5）包括调整螺栓（501）、压辊（502）、支撑架（503）和平整安装架（504）；所述的液面监测装置（6）包括液面监测计（601）和稳液管（602）；所述的升降装置（2）中的电机（201）安装在固定槽（101）的底部；所述的调速装置（3）安装在升降装置（2）的移动平台（205）上，且与升降装置（2）共同设置在固定槽（101）的侧壁上；所述的溶液加热恒温装置（4）设置在溶液槽（102）的槽底；所述的粒子平整装置（5）设置在调速装置（3）的调速箱（303）上；所述的液面监测装置（6）设置在溶液槽（101）外壁出液口处。
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- 本发明得到一种金属板的制造方法以及金属发热体，其可以在通过湿蚀刻成型具有突起的金属板的情况下，使突起的产品形状接近设计值。切口（72）的前端部（72A）的抗蚀剂偏移量，基于前端部（72A）的曲率半径，设为比直线部（72B）的抗蚀剂偏移量小。由此，可以使通过湿蚀刻而形成的切口（72）的产品形状接近设计值。
- 局部蚀刻制作立体件的方法及定位治具-201410050563.1
- 王稳军;徐新涛;周学军 - 昆山均瑞电子科技有限公司
- 2014-02-13 - 2017-12-05 - C23F1/02
- 本发明公开了一种局部蚀刻制作立体件的方法及定位治具，首先，根据待蚀刻立体件的形状制成一定位治具；然后，通过电泳工艺在待蚀刻立体件需要蚀刻的表面上镀一层感光油墨；通过镭雕工艺在待蚀刻立体件表面上需要蚀刻的部分的感光油墨去掉，将需要蚀刻的部分裸露出来；接着将待蚀刻立体件定位在定位治具上，并将该定位治具放入蚀刻机用预先设定好的腐蚀溶液进行设定深度的腐蚀；最后，对蚀刻后的立体件进行退膜、清洗和烘干，即形成成品立体件。本发明用于局部蚀刻制作立体件的定位治具，可根据待蚀刻立体件的形状（大小）通过形成容置凹槽实现对待蚀刻立体件的定位。本发明可以节约成本，且可以使立体件的精度更高，规格尺寸更加准确。
- 一种蚀刻板用菲林保护方法-201710220576.2
- 代重飞 - 庐江凯创五金科技有限公司
- 2017-04-06 - 2017-09-29 - C23F1/02
- 本发明公开了一种蚀刻板用菲林保护方法，涉及金属蚀刻技术领域。本发明通过使用厚度0.02mmPE膜覆在菲林底片上，使用过程中出现PE膜刮花，不伤及菲林底片的情况下，更换PE膜，菲林可继续使用。本发明制作工序简单，能够有效保护菲林底片不被划伤，通过更换PE膜，达到保护菲林底片作用。
- 带金属片材的印刷品制作工艺-201710254286.X
- 丁智勇 - 东莞当纳利印刷有限公司
- 2017-04-18 - 2017-09-15 - C23F1/02
- 本发明公开一种带金属片材的印刷品制作工艺，包括有以下步骤（1）取金属片材，并使用化学溶液对金属片材进行蚀刻，以得到所需的图案；（2）将完成蚀刻的金属片材固定于印刷品的表面上；（3）对印刷品的表面进行覆膜处理，使得印刷品的表面上形成一透明保护膜，透明保护膜完全覆盖住金属片材。本发明工艺主要特点是结合了印刷品基材、蚀刻工艺金属片材与后期覆膜的三层结构；蚀刻金属片材可以充分利用导电性能、磁性、柔韧性等等，在纸张基材三层结构基础上更进一步设计成为金属网、电路线、高强度耐折、特种浮雕等多种效果，本发明实现从原理、材料和制程多方面区别于现有做法，实现工艺的进步，为企业带来巨大的经济效益。
- 硅衬底及其制备方法-201510266643.5
- 袁国栋;王克超;李晋闽;吴瑞伟;黄芳;王乐 - 中国科学院半导体研究所
- 2015-05-22 - 2017-08-11 - C23F1/02
- 本发明公开了一种硅衬底及其制备方法，由晶体硅构成，其表面为晶体硅的(100)晶面，硅衬底包括基底以及在基底之上形成的多个周期性排布的正金字塔结构。本发明成功制备出具有周期性正金字塔结构的硅衬底，为硅衬底器件提供了一种新的衬底结构，为硅基电力电子器件的制备提供了一种新的方法，周期性排布的正金字塔结构相对于倒金字塔结构更适合在硅衬底上进行外延。
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