[实用新型]一种砷化镓单晶生产设备有效
| 申请号： | 201821051365.7 | 申请日： | 2018-07-04 |
| 公开（公告）号： | CN208649505U | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 王新峰;谈笑天;雷仁贵 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/02 | 分类号： | C30B11/02;C30B29/42 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 孟德栋 |
| 地址： | 101407 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及单晶制备技术领域，具体涉及一种砷化镓单晶生产设备。本实用新型提供的砷化镓单晶生产设备坩埚、石英管和生长炉，所述坩埚内形成长方体状的生长腔体，将合成好的砷化镓多晶料以及籽晶等装入坩埚并密封在抽真空的石英管中，将装好多晶料的石英管垂直放入立式多温区晶体生长炉中，在生长炉内升温化料，温度保持、接籽晶、等径生长、降温等过程，单晶从籽晶端开始缓慢向上生长，形成所述砷化镓单晶，由于坩埚内形成的生长腔体为长方体状，因此生长出来的砷化镓晶体为长方体状，不需要再经过圆形单晶砷化镓切边处理，避免了原材料的浪费，能够节约原料和人力成本，降低晶体加工的工序，缩减加工时间，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 砷化镓单晶 坩埚 长方体状 生产设备 石英管 本实用新型 生长腔体 砷化镓 生长炉 单晶砷化镓 晶体生长炉 单晶制备 等径生长 晶体加工 切边处理 人力成本 生产效率 温度保持 向上生长 抽真空 多晶料 多温区 籽晶端 单晶 放入 化料 接籽 籽晶 装入 密封 垂直 合成 生长 节约 加工 | ||
【主权项】：
1.一种砷化镓单晶生产设备，其特征在于：包括坩埚、石英管和生长炉，所述坩埚内形成长方体状的生长腔体，所述石英管内形成密闭的真空腔体，所述坩埚固定在真空腔体内，所述石英管固定在所述生长炉内。
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