[发明专利]真空处理系统及操作真空处理系统的方法在审
| 申请号： | 201880007953.7 | 申请日： | 2018-03-09 |
| 公开（公告）号： | CN110612362A | 公开（公告）日： | 2019-12-24 |
| 发明（设计）人： | 塞巴斯蒂安·巩特尔·臧;于尔根·亨里奇;安德烈亚斯·索尔 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/04;C23C16/04;C23C16/54;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 描述一种用于处理基板的真空处理系统。所述真空处理系统包括：第一处理腔室，所述第一处理腔室连接到第一群集腔室；第一处理站，所述第一处理站用于在所述第一处理腔室中处理基板；第二处理腔室，所述第二处理腔室连接到第二群集腔室；第一传送腔室，所述第一传送腔室连接到所述第一群集腔室和所述第二群集腔室，所述第一传送腔室具有在所述第一群集腔室和所述第二群集腔室之间延伸的第一长度，所述第一传送腔室的尺寸适合容纳所述基板；第二传送腔室，所述第二传送腔室连接到所述第二群集腔室，所述第二传送腔室具有小于所述第一长度的第二长度；基板运输布置，所述基板运输布置设置成以从竖直偏移15°或更少的取向输送所述基板通过所述第一处理腔室、所述第二处理腔室、所述第一群集腔室、所述第二群集腔室、所述第一传送腔室和所述第二传送腔室。 | ||
| 搜索关键词： | 传送腔室 腔室 群集 处理腔室 真空处理系统 处理基板 基板运输 处理站 基板 偏移 取向 竖直 容纳 延伸 | ||
【主权项】：
1.一种用于处理基板的真空处理系统，所述真空处理系统包括：/n第一处理腔室，所述第一处理腔室连接到第一群集腔室；/n第一处理站，所述第一处理站用于在所述第一处理腔室中处理所述基板；/n第二处理腔室，所述第二处理腔室连接到第二群集腔室；/n第一传送腔室，所述第一传送腔室连接到所述第一群集腔室及所述第二群集腔室，所述第一传送腔室具有延伸在所述第一群集腔室及所述第二群集腔室之间的第一长度，所述第一传送腔室的尺寸适合容纳所述基板；/n第二传送腔室，所述第二传送腔室连接到所述第二群集腔室，所述第二传送腔室具有小于所述第一长度的第二长度；以及/n基板运输布置，所述基板运输布置设置成以从竖直偏移15°或更少的取向输送所述基板通过所述第一处理腔室、所述第二处理腔室、所述第一群集腔室、所述第二群集腔室、所述第一传送腔室和所述第二传送腔室。/n
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- 本发明涉及竖立基材的连续式薄膜处理设备，具有用于基材的放料辊和收料辊、至少一个用于处理基材的处理部段、具有用于输送基材经过该设备并将基材保持于基本竖立的导辊的基材输送装置。该处理部段和导辊如此相对布置，基材的输送路段以顺随曲线β的多边形曲线的形式构成，其中所述导辊布置在输送路段的一侧，而该处理装置布置在另一侧。另外，放料辊和收料辊水平布置，放料部段和收料部段分别具有包括至少一个转向辊的转向机构用于使基材从平放转至竖立或反之亦然。
- 一种高效率真空镀膜机-201821686383.2
- 李志荣;陸创程 - 东莞市汇成真空科技有限公司
- 2018-10-17 - 2019-12-20 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种高效率真空镀膜机，其包括真空镀膜室，在真空镀膜室内安装有制冷盘管，对应制冷盘管的位置安装有用于加热制冷盘管的加热器，其特征是，真空镀膜机还包括密封罩和直线运动机构，密封罩安装在直线运动机构上，由直线运动机构带动密封罩直线运动，密封罩位于真空镀膜室内并与制冷盘管的位置对应，密封罩可密封罩住制冷盘管，对应制冷盘管的位置安装有抽气接头，抽气接头用于与外部的抽气泵连接，从而抽取在密封罩住制冷盘管时密封罩内的空气。本实用新型提高了吸附效率、工作效率，能使真空镀膜室内获得更洁净的真空环境。
- 一种真空镀膜机的真空填充系统-201920575758.6
- 郑潜武 - 珠海众睿诚科技有限公司
- 2019-04-25 - 2019-12-20 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机的真空填充系统，包括真空腔体，所述真空腔体顶部设置有进气管，进气管一端用于充入空气，进气管另一端延伸至真空腔体内部，所述进气管另一端连接有螺旋状泄气管，该螺旋状泄气管上均匀排列有若干个出气口，螺旋状泄气管由于其自身的形状结构，能够对进入的高速气体进行引流缓冲，吸收充入气体的冲击性，同时改变充入气体在真空腔体内的扩散方式，充入气体经由螺旋状泄气管上分布的出气口，气体能够平缓均匀分散地从真空腔体顶部填充入底部，减缓了充气系统的气体冲击性，避免了在真空腔体内形成回流，将真空腔体内的粉尘刮起，被工件表面吸附，造成工件镀膜不良，提高了良品率，节省了生产成本。
- 一种真空镀膜机的除杂质冷却系统-201920576153.9
- 郑潜武 - 珠海众睿诚科技有限公司
- 2019-04-25 - 2019-12-20 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种真空镀膜机的除杂质冷却系统，包括真空腔体、抽气管道以及真空泵，所述抽气管道一端与真空腔体连接、另一端与真空泵连接，所述抽气管道的下端设置有排污管道，排污管道还连接有用于收集污物的存储箱，所述抽气管道内靠近排污管道的位置安装有过滤网，使得进入真空泵的气体没有杂质，延长其使用寿命，所述真空腔体内部设置有冷却管道，该冷却管道从真空腔体底部穿过、延伸至顶部后折回至真空腔体底部并再次穿过真空腔体，冷却管道的两端均连接有蓄液箱，该蓄液箱内部填充有冷却液，能够较好地对真空腔体中的空气，杂质污物以及热离子进行降温，并降低了真空腔体内的温度，防止了温度过高而对产品造成损伤，提高了良品率。
- 一种叶窗式气道节流装置-201822073318.9
- 赵金虎;薛世勇;陈洪荣 - 青海首能光伏有限公司
- 2018-12-11 - 2019-12-17 - C23C14/56
- 本申请公开了一种叶窗式气道节流装置，包括：传动装置；主叶片，通过主动轴连接所述传动装置；多个从叶片，依次设置在主叶片的一侧或两侧；拉杆，依次活动连接所述主叶片和多个从叶片，通过主叶片的角度改变带动多个从叶片改变角度。本实用新型根据输出转动角度，调节主叶片和从叶片的开合大小角度，来达到调节气体流速大小，最终实现真空腔体内的压力及气体的密度的可调节，从而更容易掌控镀膜膜层的成形工艺。
- 一种可加热的保暖服装材料-201920439713.6
- 莫崧鹰 - 浙江工业大学之江学院
- 2019-04-01 - 2019-12-17 - C23C14/56
- 本实用新型公开了一种可加热的保暖服装材料，包括基布层(1)、绝缘层(2)和导热层(7)，绝缘层(2)、导热层(7)均位于基布层(1)内侧，所述基布层(1)的内表面设有等离子金属镀膜层(3)，绝缘层(2)位于所述等离子金属镀膜层(3)、导热层(7)之间，所述等离子金属镀膜层(3)上形成有电阻电路(4)。本实用新型所述的可加热的保暖服装材料解决了软性材料发热的技术问题，处理后的软性材料能保持它的柔软度而不会损害原来的物理特性如拉力强度和质感等，制造过程中不会释放残留的化学品和溶剂，无需进行预处理，可应用于各种合成纤维或混合织物的针织或机织薄膜或布料。
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