[发明专利]一种高纯度氮化铝粉体及氮化铝粉体提纯方法有效
申请号: | 201910243035.0 | 申请日: | 2019-03-28 |
公开(公告)号: | CN110015648B | 公开(公告)日: | 2021-05-04 |
发明(设计)人: | 周振翔;陈建荣;田庭燕;何敬晖;崔松满 | 申请(专利权)人: | 中材人工晶体研究院有限公司;北京中材人工晶体研究院有限公司 |
主分类号: | C01B21/072 | 分类号: | C01B21/072 |
代理公司: | 北京志霖恒远知识产权代理事务所(普通合伙) 11435 | 代理人: | 赵奕 |
地址: | 100018 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明涉及一种高纯度氮化铝粉体及氮化铝粉体提纯方法。利用还原气体对Al粉与AlN粉的混合粉体所在的合成腔体进行高温气洗处理,用于去除所述合成腔体内的氧气;真空状态下,在第一提纯温度下,去除所述混合粉体杂质中的氢氧化物,在第二提纯温度下,去除所述混合粉体杂质中的碳,在第三提纯温度下,利用所述Al蒸汽去除所述混合粉体杂质中的氧化铝。提纯方法简单,通过杂质去除顺序及相应提纯步骤的合理设计,加之Al粉的加入,有效抑制了提纯过程中AlN粉体的分解,减少原料的损耗,通过高频燃烧红外吸收法和惰气脉冲红外热导法测试得本发明所得氮化铝粉体的碳含量为42PPM,氧含量为220PPM,纯度高。 | ||
搜索关键词: | 一种 纯度 氮化 铝粉体 提纯 方法 | ||
【主权项】:
1.一种氮化铝粉体提纯方法,其特征是,包括以下步骤:利用还原气体对Al粉与AlN粉的混合粉体所在的合成腔体进行高温气洗处理,用于去除所述合成腔体内的氧气;真空状态下,对所述混合粉体进行氮化铝粉体提纯处理,其中,在第一提纯温度下,去除所述混合粉体杂质中的氢氧化物,在第二提纯温度下,去除所述混合粉体杂质中的碳,在第三提纯温度下,充入高纯氮气,所述混合粉体中的Al粉形成Al蒸汽,利用所述Al蒸汽去除所述混合粉体杂质中的氧化铝,然后降温,在高纯惰性气体保护下经破碎研磨处理即得高纯度氮化铝粉体。
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