[发明专利]模块化高频源在审
| 申请号： | 201910320328.4 | 申请日： | 2019-04-19 |
| 公开（公告）号： | CN110391127A | 公开（公告）日： | 2019-10-29 |
| 发明（设计）人： | 蔡泰正;克里斯蒂安·阿莫米诺;汗赫·阮;卡洛尔·贝拉;菲利普·艾伦·克劳斯 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国;赵静 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 实施方式包括模块化高频发射源。在一个实施方式中，所述模块化高频发射源包括多个高频发射模块，其中每个高频发射模块包括振荡器模块、放大模块和施加器。在一个实施方式中，所述振荡器模块包括电压控制电路和电压受控的振荡器。在一个实施方式中，所述放大模块耦接到所述振荡器模块。在一个实施方式中，所述施加器耦接到所述放大模块。在一个实施方式中，每个高频发射模块包括不同的振荡器模块。 | ||
| 搜索关键词： | 振荡器模块 高频发射模块 放大模块 模块化 高频发射 施加器 电压控制电路 高频源 振荡器 受控 | ||
【主权项】：
1.一种模块化高频发射源，包括：多个高频发射模块，其中每个高频发射模块包括：振荡器模块，其中每个振荡器模块包括：电压控制电路；和电压受控的振荡器；放大模块，其中所述放大模块耦接所述振荡器模块；和施加器，其中所述施加器耦接到所述放大模块。
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