[发明专利]调节装置、调节系统、调节方法和调节控制装置

摘要

本发明涉及一种调节装置，包括调平靶、底座和驱动组件。承载面包括用于承载待测物的承载面。底座位于调平靶的远离承载面的一侧。驱动组件包括驱动件和传动件。驱动件位于底座上并与调平靶相对。传动件的数量为至少三个，至少三个传动件不共线地设置在调平靶上并与驱动件传动连接；在驱动件驱动传动件沿预设方向移动时，传动件用于带动调平靶沿预设方向移动。由于在调平靶远离承载面的一侧设置有驱动组件，驱动组件的驱动件能够驱动至少三个传动件沿预设方向移动，从而使传动件带动调平靶沿预设方向移动，如此，无需手动调节，就能实现对调平靶的位置调节，节约人力，而且调节精度高，能够将调平靶调节至最佳成像位置。

主权项

1.一种调节装置，其特征在于，包括：调平靶，包括承载面，所述承载面用于承载待测物；底座，位于所述调平靶的远离所述承载面的一侧；和驱动组件，包括：驱动件，位于所述底座上并与所述调平靶相对；传动件，所述传动件的数量为至少三个，至少三个所述传动件不共线地设置在所述调平靶上并与所述驱动件传动连接；在所述驱动件驱动所述传动件沿预设方向移动时，所述传动件用于带动所述调平靶沿所述预设方向移动。