[发明专利]一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置在审
| 申请号： | 201910966987.5 | 申请日： | 2019-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN110527953A | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 费文池;高耀强;谢廷伟 | 申请（专利权）人： | 赫得纳米科技重庆有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 50221 重庆乐泰知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 林慰敏<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 402776 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体、水冷装置，本发明通过在镀膜机腔体外表面设置了水冷装置，将内壳本体内表面的内螺旋凸块与镀膜机腔体进行接触密封，由内螺旋凸块进行分割内壳本体内表面形成一条螺旋下降的导水槽，将水由入水口导入，水流沿着导水槽由出水口导出，充分的接触镀膜机腔体表面，达到良好的降温效果，通过在水冷装置外表面设置了风冷装置，通过将内螺旋凸块与镀膜机腔体进行接触密封，将热量导给内壳本体，再由外螺旋散热凸块贴合外筒形成导风道，由散热风机通电进行工作，将热风排出，凉风由进风口导入顺着导风道进行吹过，加大了与风接触的面积，提高了散热效果，减小了装置的体积。 | ||
| 搜索关键词： | 镀膜机 腔体 水冷装置 内螺旋 内壳 凸块 接触密封 体内表面 导风道 导水槽 腔体外表面 真空镀膜机 风冷装置 降温效果 结构改进 冷却装置 螺旋下降 腔体表面 散热风机 散热凸块 散热效果 出水口 进风口 入水口 外螺旋 热风 导出 减小 凉风 排出 贴合 外筒 通电 分割 | ||
【主权项】：
1.一种结构改进的真空镀膜机腔体冷却装置，包括镀膜机腔体(1)、蓄水箱(6)、水泵(7)、水泵开关(8)、电源线(9)、第一导管(10)和第二导管(11)，所述镀膜机腔体(1)右端设置有蓄水箱(6)，所述蓄水箱(6)顶部与水泵(7)底部设置的进水管固定连接，所述水泵(7)前端设置有水泵开关(8)，并且水泵(7)后端设置有电源线(9)，所述第一导管(10)右端与蓄水箱(6)固定密封，所述第二导管(11)底部与水泵(7)后端设置的出水管密封固定，所述水泵(7)和水泵开关(8)均与电源线(9)电连接；/n其特征在于：还包括水冷装置(2)、风冷装置(3)、密封装置(4)和连接装置(5)，所述水冷装置(2)内表面与镀膜机腔体(1)密封固定，所述水冷装置(2)外表面包裹有风冷装置(3)，所述密封装置(4)内表面与镀膜机腔体(1)顶部密封固定，所述密封装置(4)底部与水冷装置(2)顶部密封连接，所述密封装置(4)贴合于风冷装置(3)顶部，所述连接装置(5)左端与水冷装置(2)密封固定，并且连接装置(5)中部外径贯穿风冷装置(3)，所述水冷装置(2)由内壳本体(21)、出水口(22)、入水口(23)、内螺旋凸块(24)、导水槽(25)、内螺纹(26)、限位槽(27)和外螺旋散热凸块(28)组成，所述内壳本体(21)右端上下两侧分别设置有入水口(23)和出水口(22)，并且出水口(22)和入水口(23)内表面均设置有连接装置(5)，所述内壳本体(21)内表面设置有一体铸成的内螺旋凸块(24)，并且通过内螺旋凸块(24)将内壳本体(21)内表面分隔成均匀排列的导水槽(25)，所述内螺纹(26)刻制于内壳本体(21)顶部内径，并且内壳本体(21)底部内侧设置有圆形的限位槽(27)，所述外螺旋散热凸块(28)均匀设置于内壳本体(21)外表面，并且外螺旋散热凸块(28)与内壳本体(21)为一体铸成，所述内螺旋凸块(24)与镀膜机腔体(1)外表面密封固定，所述内螺纹(26)与密封装置(4)底部外表面通过螺纹固定连接，所述限位槽(27)内表面与镀膜机腔体(1)底部间隙配合，所述外螺旋散热凸块(28)贴合于风冷装置(3)内表面。/n
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- 本发明涉及光学镀膜机设备技术领域，具体涉及一种光学镀膜机快速无尘进气装置，包括镀膜机本体，镀膜机本体的正上方设有进气装置，进气装置的底部四周通过支柱与镀膜机本体的顶部相连，进气装置的底部中央与镀膜机本体的顶部之间贯穿连接有进气管，进气装置的顶部左右两侧对称贯穿设有L型通管，进气装置的前表面中央嵌有透明玻璃；进气装置的内腔顶部中央设有过滤腔，L型通管的底部贯穿延伸至过滤腔的内腔顶部，且L型通管位于过滤腔的内腔端部连接有光触媒过滤网，L型通管的内腔中部通过十字架设有第一吸风风机；本发明能够有效克服现有技术所存在的光学镀膜机的充气方式不佳的缺陷。
- 一种纳米真空镀膜用冶具-201920505385.5
- 江成龙 - 玛奇纳米科技(苏州)有限公司
- 2019-04-15 - 2019-12-03 - C23C14/22
- 本实用新型公开了一种纳米真空镀膜用冶具，包括工作箱，所述工作箱内部设置有冶具釜，所述冶具釜外侧固定连接有安装架，所述安装架两侧分别安装有双排微波加热器和单微波加热器，所述冶具釜外侧设置有延伸管，所述冶具釜通过延伸管安装有外置管，所述外置管顶部安装有添加管，所述冶具釜底部设置有加固底层，所述加固底层中部开设有下排口，所述加固底层底部安装有存放腔，所述存放腔底部安装有出料管，所述出料管外侧设置有开关阀，本实用新型涉及纳米加工用具技术领域。该纳米真空镀膜用冶具，达到了对纳米真空镀膜物料进行融化加工混合的目的，方便了后期加工纳米真空镀膜时使用物料的均匀性，提高使用效果和加工出产品的质量。
- 工件处理系统和方法-201580055294.0
- 摩根·D·艾文斯;凯文·安葛林;丹尼尔·迪斯塔苏;约翰·哈塔拉;丝特芬·罗伯特·舍曼;约瑟·C·欧尔森 - 瓦里安半导体设备公司
- 2015-10-09 - 2019-12-03 - C23C14/22
- 本发明公开一种用于处理工件的系统和方法。用等离子室形成带状离子束，所述带状离子束经提取孔口提取。在提取孔口旁边平移工件以使工件的不同部分暴露于带状离子束。当工件暴露于带状离子束时，改变与等离子室相关的至少一个参数。可变参数包含提取电压占空比、工件扫描速度和离子束的形状。在一些实施例中，工件整体暴露于带状离子束之后，当参数改变时，旋转工件并再次将其暴露于带状离子束。此序列可重复多次。
- 一种真空镀膜设备的冷阱装置-201920333393.6
- 刘振波;霍锦辉;张向阳 - 深圳海容高新材料科技有限公司
- 2019-03-16 - 2019-11-19 - C23C14/22
- 本实用新型为一种真空镀膜设备的冷阱装置，包括箱体，所述箱体内部左右两侧各连接有多个呈水平放置且呈相互交错放置的承载板，所述承载板上下两面及箱体上下两内侧面固定有呈可拆卸的挡板组，所述挡板组，包括固定板、设置在固定板上具有多个呈均匀间隔排列的挡板及冷却管，所述冷却管包括有数条接触段以及数条贯穿挡板的贯穿段，所述接触段贴合于各个挡板的一侧面，所述贯穿段连接于相邻两条接触段，该实用新型的挡板组可根据需要通过装卸挡板组来调整冷却路径的长度，实现对有害物质完全捕捉。
- 一种组合式真空镀膜系统的生产方法-201910897416.0
- 张海富 - 江苏坤载新材料科技有限公司
- 2019-09-23 - 2019-11-15 - C23C14/22
- 本发明公开了一种组合式真空镀膜系统的生产方法，包括腔室（10），Z和旋转操纵器单元，靶支架单元（50），加热元件单元（40），辐射屏蔽单元（11,11a，103）和单位（100,101,102）基于涂覆方法。在此，组合涂覆真空系统的涂覆方法使用溅射源，蒸发源，热源，电子束源，喷射池，坩埚和衬里，离子蚀刻源和激光沉积源方法。提供一种生产组合式真空镀膜系统的方法，该方法仅在具有从单个系统获得的优点的情况下应用于组合式系统，并保持在组合式涂覆系统中建立的最佳状态。
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