[实用新型]一种真空镀膜腔体吊装结构有效
| 申请号： | 201920377928.X | 申请日： | 2019-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN209923419U | 公开（公告）日： | 2020-01-10 |
| 发明（设计）人： | 瞿建强;钱拥军 | 申请（专利权）人： | 光科真空科技(泰兴)有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/22 | 分类号： | C23C14/22 |
| 代理公司： | 32247 江阴义海知识产权代理事务所(普通合伙) | 代理人： | 孙霞 |
| 地址： | 225400 江苏省泰州市泰*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种真空镀膜腔体吊装结构，包括顶壁设有开口的真空镀膜腔体，在所述真空镀膜腔体内部设有若干与真空镀膜腔体顶壁的一组相对侧边垂直的横梁，在所述横梁的一端或两端设有锁紧装置，所述真空镀膜腔体顶壁的开口与横梁的位置相对应。本实用新型在真空镀膜腔体内部顶壁的开口处设有横梁，保证了吊装时横梁与真空镀膜腔体的安装或拆卸方式简单；横梁的一端或两端设有锁紧装置，使横梁两端与真空镀膜腔体内壁贴合牢固，防止吊装时横梁在真空镀膜腔体内发生滑动，保证了横梁与真空镀膜腔体之间的连接稳固性。 | ||
| 搜索关键词： | 真空镀膜腔 横梁 顶壁 本实用新型 锁紧装置 体内部 吊装 开口 体内 连接稳固性 吊装结构 横梁两端 垂直的 开口处 滑动 侧边 贴合 拆卸 保证 | ||
【主权项】：
1.一种真空镀膜腔体吊装结构，包括顶壁设有开口的真空镀膜腔体，其特征在于，在所述真空镀膜腔体内部设有若干与真空镀膜腔体顶壁的一组相对侧边垂直的横梁，在所述横梁的一端或两端设有锁紧装置，所述真空镀膜腔体顶壁的开口与横梁的位置相对应。/n
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- 本实用新型为一种真空镀膜设备的冷阱装置，包括箱体，所述箱体内部左右两侧各连接有多个呈水平放置且呈相互交错放置的承载板，所述承载板上下两面及箱体上下两内侧面固定有呈可拆卸的挡板组，所述挡板组，包括固定板、设置在固定板上具有多个呈均匀间隔排列的挡板及冷却管，所述冷却管包括有数条接触段以及数条贯穿挡板的贯穿段，所述接触段贴合于各个挡板的一侧面，所述贯穿段连接于相邻两条接触段，该实用新型的挡板组可根据需要通过装卸挡板组来调整冷却路径的长度，实现对有害物质完全捕捉。
- 一种组合式真空镀膜系统的生产方法-201910897416.0
- 张海富 - 江苏坤载新材料科技有限公司
- 2019-09-23 - 2019-11-15 - C23C14/22
- 本发明公开了一种组合式真空镀膜系统的生产方法，包括腔室（10），Z和旋转操纵器单元，靶支架单元（50），加热元件单元（40），辐射屏蔽单元（11,11a，103）和单位（100,101,102）基于涂覆方法。在此，组合涂覆真空系统的涂覆方法使用溅射源，蒸发源，热源，电子束源，喷射池，坩埚和衬里，离子蚀刻源和激光沉积源方法。提供一种生产组合式真空镀膜系统的方法，该方法仅在具有从单个系统获得的优点的情况下应用于组合式系统，并保持在组合式涂覆系统中建立的最佳状态。
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