[发明专利]包括散热构件的沉积设备在审
申请号: | 201911270236.6 | 申请日: | 2019-12-11 |
公开(公告)号: | CN111304636A | 公开(公告)日: | 2020-06-19 |
发明(设计)人: | 朴钟镐;潘淑焕;宋鎭伍;兪炯硕 | 申请(专利权)人: | 三星显示有限公司 |
主分类号: | C23C16/46 | 分类号: | C23C16/46;C23C16/455;C23C16/50 |
代理公司: | 北京铭硕知识产权代理有限公司 11286 | 代理人: | 张晓;陈亚男 |
地址: | 韩国京畿*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 提供了一种包括散热构件的沉积设备。所述沉积设备包括:腔室;沉积源;以及工作台,设置在腔室中,在工作台上安装有目标物体。沉积设备还包括:第一板,结合到腔室;以及第二板,设置在第一板与工作台之间,其中,第二板包括多个扩散孔。沉积设备还包括:散热构件,与第一板和第二板接触,其中,散热构件包括多个侧壁部,其中,多个侧壁部彼此连接。沉积设备还包括:垫片,结合到多个侧壁部的第一侧壁部,并且设置在第一板与第二板之间,其中,垫片平行于第一侧壁部而延伸。 | ||
搜索关键词: | 包括 散热 构件 沉积 设备 | ||
【主权项】:
暂无信息
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的