[发明专利]扫描电子显微镜系统和图案的深度测量方法有效
| 申请号： | 201980022948.8 | 申请日： | 2019-04-05 |
| 公开（公告）号： | CN111937113B | 公开（公告）日： | 2023-06-23 |
| 发明（设计）人： | 西畑贵博;大崎真由香;山本琢磨;滨口晶;饭田悠介 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;G01B15/02;H01J37/28 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人： | 曾贤伟;范胜杰 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的扫描电子显微镜系统具备：初级电子线照射单元，其向具有在第一图案的周边区域形成的第二图案的基板的第一图案照射初级电子线；检测单元，其检测从被初级电子线照射单元照射了初级电子线的基板释放的后方散射电子；图像生成单元，其生成与通过检测单元检测出的后方散射电子的强度对应的电子线图像；指定单元，其在通过图像生成单元生成的电子线图像上，指定存在第一图案的深度测量区域；处理单元，其求出深度测量区域的图像信号、存在第二图案的上述周边区域内的图案密度，根据该求出的深度测量区域的图像信号和周边区域内的图案密度来推定深度测量区域内的第一图案的深度。 | ||
| 搜索关键词： | 扫描 电子显微镜 系统 图案 深度 测量方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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