[发明专利]化合物、包含其的组合物、以及抗蚀图案的形成方法和绝缘膜的形成方法在审
| 申请号： | 201980055548.7 | 申请日： | 2019-08-21 |
| 公开（公告）号： | CN112639020A | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 佐藤隆;越后雅敏;牧野岛高史 | 申请（专利权）人： | 三菱瓦斯化学株式会社 |
| 主分类号： | C08L61/04 | 分类号： | C08L61/04;C07C39/367;C07C69/712;C07C69/96;C08G8/00;G03F7/004;G03F7/038;G03F7/039 |
| 代理公司： | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 刘新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
一种组合物，其包含多酚化合物(B)，前述多酚化合物(B)为选自由下述式(1)所示化合物及具有下述式(2)所示结构的树脂组成的组中的1种以上。 |
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| 搜索关键词： | 化合物 包含 组合 以及 图案 形成 方法 绝缘 | ||
【主权项】：
暂无信息
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