[发明专利]以机器视觉作为对CMP工艺控制算法的输入有效
| 申请号： | 201980066820.1 | 申请日： | 2019-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN112823080B | 公开（公告）日： | 2023-07-14 |
| 发明（设计）人： | B·切里安;J·钱;N·威斯韦尔;D·J·本韦格努;B·A·斯韦德克;T·H·奥斯特海德 | 申请（专利权）人： | 应用材料公司 |
| 主分类号： | B24B49/04 | 分类号： | B24B49/04;B24B37/005;H01L21/67;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 侯颖媖;张鑫 |
| 地址： | 美国加利*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 在基板的化学机械抛光期间，通过第一原位监测系统来确定取决于经受抛光的基板上的测量点中的层的厚度的信号值。通过第二原位成像系统产生至少基板的测量点的图像。机器视觉处理(例如卷积神经网络)用于基于图像来确定测量点的特征值。然后，基于特征值和信号值两者来计算测量值。 | ||
| 搜索关键词： | 机器 视觉 作为 cmp 工艺 控制 算法 输入 | ||
【主权项】：
暂无信息
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