[发明专利]带电粒子束装置有效
| 申请号： | 202010193732.2 | 申请日： | 2020-03-18 |
| 公开（公告）号： | CN111933505B | 公开（公告）日： | 2023-09-22 |
| 发明（设计）人： | 山本琢磨 | 申请（专利权）人： | 株式会社日立高新技术 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 李国华 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供一种带电粒子束装置，即便在位于不同层的图案之间的重叠偏移量较大的情况下，也稳定地执行重叠偏移量的准确测定。该带电粒子束装置具备：带电粒子束照射部，向试料照射带电粒子束；第一检测器，对来自所述试料的二次电子进行检测；第二检测器，对来自所述试料的反射电子进行检测；和图像处理部，基于所述第一检测器的输出，生成包括位于所述试料的表面的第一图案的图像的第一图像，且基于所述第二检测器的输出，生成包括位于比所述试料的表面靠下层的第二图案的图像的第二图像。控制部基于针对所述第一图像的第一模板图像，调整所述第一图像中的测定区的位置，且基于针对所述第二图像的第二模板图像，调整所述第二图像中的测定区的位置。 | ||
| 搜索关键词： | 带电 粒子束 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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