[发明专利]一种透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法有效
| 申请号： | 202010257427.5 | 申请日： | 2020-04-03 |
| 公开（公告）号： | CN111572203B | 公开（公告）日： | 2021-06-08 |
| 发明（设计）人： | 郑冬琛 | 申请（专利权）人： | 北京泰微华赢技术有限公司 |
| 主分类号： | B41J2/16 | 分类号： | B41J2/16;B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京慕达星云知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11465 | 代理人： | 崔自京 |
| 地址： | 100000 北京市昌平*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种透明喷墨头的基于MEMS及印刷工艺的制备方法，喷墨头前端包括墨水腔板和喷嘴板，墨水腔板和喷嘴板均采用玻璃晶圆制成，透明喷墨头的制备包括以下步骤：S1、在墨水腔板的玻璃晶圆上蒸镀下电极，利用丝网印刷工艺按照电极图案印刷压电陶瓷层；S2、在压电陶瓷层上继续印刷上电极；S3、通过半导体键合工艺将墨水腔板和喷嘴板键合在一起；S4、在压电陶瓷极化仪中将压电陶瓷层中的压电陶瓷极化。本发明使喷墨头的内部结构被直观观察，减少喷墨头的故障检测步骤和检修维护成本，喷嘴板固定稳固同时适应于多种墨水成分，还能简化压电驱动端的制备工艺、减少化学品的使用以及降低压电驱动端的制备成本，以满足生产及环保需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 透明 喷墨 基于 mems 印刷 工艺 制备 方法 | ||
【主权项】：
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