[发明专利]一种旋转靶材的装配方法有效
申请号: | 202010344521.4 | 申请日: | 2020-04-27 |
公开(公告)号: | CN111408864B | 公开(公告)日: | 2022-01-11 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;祝龙飞 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23K31/02 | 分类号: | B23K31/02;B23K37/00;C23C14/35 |
代理公司: | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人: | 王岩 |
地址: | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供了一种旋转靶材的装配方法。所述方法包括:将至少两个旋转靶材套在背管上进行拼接,相邻两个旋转靶材之间形成拼接缝隙,在每个所述拼接缝隙中设置多个第一支撑件;每个所述第一支撑件均一部分位于拼接缝隙一侧的旋转靶材与背管之间,另一部分位于拼接缝隙另一侧的旋转靶材与背管之间;在每个所述拼接缝隙中设置第二支撑件,所述第二支撑件为环状,套在所述背管上,将形成旋转靶材的两个旋转靶材隔开;用密封件将对每个所述拼接缝隙进行密封,得到装配后的旋转靶材。本发明提供的旋转靶材的装配方法可以使得到的装配后的旋转靶材在焊接时焊接结合率高,成品率高,拼接缝隙均匀,相邻旋转靶材表面高度一致性良好,表面无台阶。 | ||
搜索关键词: | 一种 旋转 装配 方法 | ||
【主权项】:
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