[发明专利]可测量阈值电压的高温栅偏试验方法及装置有效
| 申请号： | 202010517790.6 | 申请日： | 2020-06-09 |
| 公开（公告）号： | CN111638437B | 公开（公告）日： | 2023-03-21 |
| 发明（设计）人： | 张文亮;李文江;孙浩强;朱阳军 | 申请（专利权）人： | 山东阅芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 苏州国诚专利代理有限公司 32293 | 代理人： | 韩凤 |
| 地址： | 264315 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种高温栅偏试验方法及装置，尤其是一种可测量阈值电压的高温栅偏试验方法及装置，属于功率半导体器件高温栅偏测试的技术领域。按照本发明提供的技术方案，所述可测量阈值电压的高温栅偏试验方法，包括HTGB测试设备；所述HTGB测试设备包括能与待测器件适配连接的测试连接电路以及能切换待测器件测试状态的开关切换电路，所述开关切换电路与待测器件、测试连接电路适配连接，通过开关切换电路能使得测试连接电路对待测器件进行HTGB试验或阈值电压测量，以能在对待测器件的HTGB试验中进行阈值电压测量。本发明能方便对功率半导体器件进行高温栅偏试验以及阈值电压测量，提高测试效率，安全可靠。 | ||
| 搜索关键词： | 可测量 阈值 电压 高温 试验 方法 装置 | ||
【主权项】：
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