[发明专利]高计数率电阻板室探测器的制备方法有效
| 申请号： | 202010594355.3 | 申请日： | 2020-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN111650633B | 公开（公告）日： | 2022-07-15 |
| 发明（设计）人： | 周意;王旭;孙勇杰;尚伦霖;张广安;鲁志斌;刘建北;张志永;邵明 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01T1/26 | 分类号： | G01T1/26;C23C14/35;C23C14/06 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 孙蕾 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本公开提供一种高计数率电阻板室探测器的制备方法，包括：步骤S1：对玻璃样品进行预处理；步骤S2：在预处理后的玻璃样品表面及孔内制备DLC阻性薄膜，完成DLC阻性玻璃的制备；步骤S3：基于DLC阻性玻璃制备电阻板室结构；以及步骤S4：对电阻板室结构进行封装，完成高计数率电阻板室探测器的制备。 | ||
| 搜索关键词： | 计数 电阻 探测器 制备 方法 | ||
【主权项】：
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