[发明专利]一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法有效
申请号: | 202010619205.3 | 申请日: | 2020-06-30 |
公开(公告)号: | CN111739902B | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 李坤;孙雷蒙;杨丹 | 申请(专利权)人: | 华引芯(武汉)科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/15 | 分类号: | H01L27/15;H01L21/67;H01L33/48;H01L33/62 |
代理公司: | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人: | 张宇娟 |
地址: | 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法,属于光电子技术领域。在实现时,先将微型发光单元按要求布置在置样板的UV膜上,由于UV膜有一定的粘性,可以对微型发光单元起到固定作用。通过固晶臂的真空气路将置样板吸附在玻璃压板上,并将置样板转移到固晶区进行固晶。待固晶操作完成,通过UV面光源的照射,使得UV膜失去粘性,完成对微型发光单元释放。该转移装置可以与常规固晶机的固晶臂配合使用,即可完成微型发光单元的转移,改装成本低,操作简便,转移效率高。同时,由于先进行微型发光单元的固晶再进行微型发光单元的释放,使得微型发光单元是在固定的状态下进行固晶,从而增加了微型发光单元固定的准确性和可靠性。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 微型 发光 单元 转移 装置 方法 | ||
【主权项】:
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
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