[发明专利]一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法有效

专利信息
申请号: 202010619205.3 申请日: 2020-06-30
公开(公告)号: CN111739902B 公开(公告)日: 2023-06-27
发明(设计)人: 李坤;孙雷蒙;杨丹 申请(专利权)人: 华引芯(武汉)科技有限公司
主分类号: H01L27/15 分类号: H01L27/15;H01L21/67;H01L33/48;H01L33/62
代理公司: 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 代理人: 张宇娟
地址: 430000 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明公开了一种用于微型发光单元的转移装置及转移方法,属于光电子技术领域。在实现时,先将微型发光单元按要求布置在置样板的UV膜上,由于UV膜有一定的粘性,可以对微型发光单元起到固定作用。通过固晶臂的真空气路将置样板吸附在玻璃压板上,并将置样板转移到固晶区进行固晶。待固晶操作完成,通过UV面光源的照射,使得UV膜失去粘性,完成对微型发光单元释放。该转移装置可以与常规固晶机的固晶臂配合使用,即可完成微型发光单元的转移,改装成本低,操作简便,转移效率高。同时,由于先进行微型发光单元的固晶再进行微型发光单元的释放,使得微型发光单元是在固定的状态下进行固晶,从而增加了微型发光单元固定的准确性和可靠性。
搜索关键词: 一种 用于 微型 发光 单元 转移 装置 方法
【主权项】:
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