[发明专利]低羟基高纯石英玻璃及其制备方法在审
| 申请号： | 202011001200.0 | 申请日： | 2020-09-22 |
| 公开（公告）号： | CN114249524A | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 汤明明;王蒙非;钱宜刚;马俊逸;张贤根;沈一春;陈娅丽 | 申请（专利权）人： | 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B20/00 | 分类号： | C03B20/00;C03B19/06;C03B25/00;C03B32/00;C03C1/02;C03C3/06;C01B33/18 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种低羟基高纯石英玻璃的制备方法，包括步骤：提供二氧化硅粉体，所述二氧化硅粉体含有羟基。将所述二氧化硅粉体进行脱羟，所述脱羟步骤包括：将所述二氧化硅粉体于第一温度下进行干燥。将所述二氧化硅粉体升温至第二温度，通入第一氧化气体，所述第一氧化气体包括卤素气体，获得第一脱羟粉体。将所述第一脱羟粉体升温至第三温度，通入第二氧化气体，所述第二氧化气体包括氧气或臭氧，获得第二脱羟粉体。升高所述第二脱羟粉体至第四温度，获得玻璃化体以及冷却并获得所述低羟基高纯石英玻璃。本发明提供的方法制备的石英玻璃羟基含量低且均匀性好。另，本发明还提供一种低羟基高纯石英玻璃。 | ||
| 搜索关键词： | 羟基 高纯 石英玻璃 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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