[发明专利]沉积设备及高纯石英玻璃的制备方法在审
| 申请号： | 202011084075.4 | 申请日： | 2020-10-12 |
| 公开（公告）号： | CN114315106A | 公开（公告）日： | 2022-04-12 |
| 发明（设计）人： | 丁杰;秦钰;钱宜刚;张贤根;汤明明;马俊逸;王蒙非 | 申请（专利权）人： | 中天科技精密材料有限公司;江苏中天科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C03B19/14 | 分类号： | C03B19/14;C03B20/00;C03B8/04 |
| 代理公司： | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人： | 徐丽 |
| 地址： | 226009 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种沉积设备，包括一槽沉炉、一等离子喷灯、一进料件、一沉积机构及一恒压装置，槽沉炉包括一炉壳及由炉壳包围形成的一封闭的炉膛。等离子喷灯设置于炉壳上，等离子喷灯用于向炉膛内喷射等离子体焰。进料件设置于槽沉炉上，用于朝向等离子体焰喷射含硅原料，以使含硅原料与等离子体焰发生反应生成玻璃态二氧化硅。沉积机构设置于炉膛内，沉积机构包括一沉积托盘及一旋转升降件，旋转升降件传动连接于沉积托盘以带动沉积托盘升降及旋转，沉积托盘设置于等离子体焰的下方以承接玻璃态二氧化硅。恒压装置设置于炉壳上，恒压装置用于控制炉膛内的压力保持恒定。另，本发明还提供一种高纯石英玻璃的制备方法。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 高纯 石英玻璃 制备 方法 | ||
【主权项】：
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