[实用新型]一种ALD阀门加热系统有效
| 申请号： | 202020509642.5 | 申请日： | 2020-04-09 |
| 公开（公告）号： | CN211925008U | 公开（公告）日： | 2020-11-13 |
| 发明（设计）人： | 不公告发明人 | 申请（专利权）人： | 江苏迈纳德微纳技术有限公司 |
| 主分类号： | F16K49/00 | 分类号： | F16K49/00;F16L59/02 |
| 代理公司： | 无锡市才标专利代理事务所(普通合伙) 32323 | 代理人： | 张迎召 |
| 地址： | 214000 江苏省无锡市新*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种ALD阀门加热系统，包括ALD阀门，所述ALD阀门一端连接有气动执行器，另一端开设有安装孔，所述开设有安装孔的一端上连接有三个接头，所述第一接头、第二接头和第三接头均连接在ALD阀门上；所述ALD阀门上设有第一接头的那一面开设有通孔，所述通孔内插设有加热棒；所述ALD阀门上包裹有加热套，所述加热套上开设有能够安装第一接头、第二接头和第三接头的配合孔。本实用新型设计了一种插入式加热棒，使加热器与ALD阀门内部充分接触，保证了ALD阀门内部温度与加热器温度完美结合，更加精确控制ALD阀门的实际温度，且加热器方便更换；设计了柔性可拆卸式保温套，保证ALD阀门的温度恒定，不受外界环境的影响而变化。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ald 阀门 加热 系统 | ||
【主权项】：
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