[发明专利]三维存储器及其制备方法有效
| 申请号： | 202110280903.X | 申请日： | 2021-03-16 |
| 公开（公告）号： | CN112909008B | 公开（公告）日： | 2023-06-30 |
| 发明（设计）人： | 陈阳;张中;夏志良;王迪;周文犀 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | H10B41/20 | 分类号： | H10B41/20;H10B43/20 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 熊永强 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种三维存储器及其制备方法。制备方法包括：提供晶圆结构，所述晶圆结构包括存储块，所述存储块包括阶梯区域与桥接结构，所述阶梯区域与所述桥接结构在第一方向上连接；在所述桥接结构上形成特征尺寸条；以所述特征尺寸条为基准线对所述阶梯区域进行刻蚀。本发明的特征尺寸条(CD bar)作为量测的基准线准确，特征尺寸条(CD bar)测量出来的阶梯结构的偏移量准确。 | ||
| 搜索关键词： | 三维 存储器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
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