[发明专利]一种甚低频MEMS天线芯片及制备方法在审
| 申请号： | 202111206448.5 | 申请日： | 2021-10-16 |
| 公开（公告）号： | CN114050395A | 公开（公告）日： | 2022-02-15 |
| 发明（设计）人： | 马志波;王熠楠;王嘉言;喜奇;祁冰帅 | 申请（专利权）人： | 西北工业大学 |
| 主分类号： | H01Q1/04 | 分类号： | H01Q1/04;H01Q1/00;H01Q1/22;B81C1/00;B81B7/02;B81B3/00 |
| 代理公司： | 西北工业大学专利中心 61204 | 代理人： | 吕湘连 |
| 地址： | 710072 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种应用于水下通讯的甚低频天线，主要包括，主要包括硅衬底1，二氧化硅薄膜2，下电极3，c轴取向压电薄膜4，上电极5，a轴取向压电薄膜6，磁致伸缩薄膜7，除硅衬底1、二氧化硅薄膜2外，其余部分共同构成MEMS谐振结构。本发明提出的天线适用于水下通讯的甚低频频段，尺寸为6mm*6mm*0.5mm，频率为(3‑30kHz)，通过电磁场中磁分量作为媒介，突破了现有天线尺寸与波长的匹配关系。拥有兼容MEMS工艺，易于集成，良好的发射能力等优点，可以显著降低现有通讯系统尺寸与重量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 甚低频 mems 天线 芯片 制备 方法 | ||
【主权项】：
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