[实用新型]一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具有效
申请号: | 202121016917.2 | 申请日: | 2021-05-13 |
公开(公告)号: | CN215161038U | 公开(公告)日: | 2021-12-14 |
发明(设计)人: | 刘忠范;彭海琳;贾开诚;单婧媛;高翾;马子腾;竺叶澍 | 申请(专利权)人: | 北京石墨烯研究院;北京大学 |
主分类号: | C01B32/186 | 分类号: | C01B32/186 |
代理公司: | 北京律智知识产权代理有限公司 11438 | 代理人: | 吴娅妮;崔香丹 |
地址: | 100095 北京市海淀区苏家*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本实用新型一实施方式提供了一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具,包括多个支撑板、多个加热板和电极组件;其中,所述多个支撑板用于放置生长石墨烯的衬底,所述多个加热板用于对所述衬底进行加热处理,所述电极组件与所述多个加热板相连,所述多个支撑板与所述多个加热板交替地层叠设置。本实用新型一实施方式的载具,能够实现石墨烯生长衬底的批量放置和高效加热。 | ||
搜索关键词: | 一种 用于 批量 制备 石墨 薄膜 | ||
【主权项】:
暂无信息
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