[实用新型]一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具有效

专利信息
申请号: 202121016917.2 申请日: 2021-05-13
公开(公告)号: CN215161038U 公开(公告)日: 2021-12-14
发明(设计)人: 刘忠范;彭海琳;贾开诚;单婧媛;高翾;马子腾;竺叶澍 申请(专利权)人: 北京石墨烯研究院;北京大学
主分类号: C01B32/186 分类号: C01B32/186
代理公司: 北京律智知识产权代理有限公司 11438 代理人: 吴娅妮;崔香丹
地址: 100095 北京市海淀区苏家*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 实用新型一实施方式提供了一种用于批量制备石墨烯薄膜的载具,包括多个支撑板、多个加热板和电极组件;其中,所述多个支撑板用于放置生长石墨烯的衬底,所述多个加热板用于对所述衬底进行加热处理,所述电极组件与所述多个加热板相连,所述多个支撑板与所述多个加热板交替地层叠设置。本实用新型一实施方式的载具,能够实现石墨烯生长衬底的批量放置和高效加热。
搜索关键词: 一种 用于 批量 制备 石墨 薄膜
【主权项】:
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