[发明专利]基于带电粒子束检查中的电荷累积减少的图像增强在审
申请号: | 202180027472.4 | 申请日: | 2021-03-31 |
公开(公告)号: | CN115398592A | 公开(公告)日: | 2022-11-25 |
发明(设计)人: | 王翔;S·迈耶;M·奥马霍尼 | 申请(专利权)人: | ASML荷兰有限公司 |
主分类号: | H01J37/22 | 分类号: | H01J37/22;H01J37/28 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 张宁 |
地址: | 荷兰维*** | 国省代码: | 暂无信息 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 一种用于增强带电粒子束检查系统中的检查图像的改进方法和设备。一种用于增强检查图像的改进方法包括:获取在不同着落能量下获得的样品的多个测试图像;确定多个测试图像的失真水平;基于失真水平,确定在检查期间使样品能够处于中性电荷条件的着落能量水平;以及基于所确定的着落能量水平,获取检查图像。 | ||
搜索关键词: | 基于 带电 粒子束 检查 中的 电荷 累积 减少 图像 增强 | ||
【主权项】:
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于ASML荷兰有限公司,未经ASML荷兰有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/patent/202180027472.4/,转载请声明来源钻瓜专利网。