[发明专利]用于透射电子显微镜阴极发光的装置在审
| 申请号： | 202180033537.6 | 申请日： | 2021-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN115803843A | 公开（公告）日： | 2023-03-14 |
| 发明（设计）人： | J·A·亨特;M·贝蒂尔松 | 申请（专利权）人： | 加坦公司 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/26 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人： | 邬少俊 |
| 地址： | 美国加*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 描述了用于收集从暴露于电子束的样品发射的上游和下游透射电子显微镜(TEM)阴极发光(CL)的装置。第一光纤线缆承载从第一TEM样品表面发射的进入摄谱仪中的第一CL光。第二光纤线缆承载从第二TEM样品表面发射的进入摄谱仪中的第二CL光。第一和第二光纤线缆被定位成使得摄谱仪产生用于第一光纤线缆的第一光谱和用于第二光纤线缆的分离的光谱。所描述的实施例允许以允许使用成像摄谱仪分别和同时地分析上游和下游TEM CL信号的方式收集TEM CL数据。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 透射 电子显微镜 阴极 发光 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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