[实用新型]一种快速成像系统以及透射电子显微镜有效
| 申请号： | 202222715104.3 | 申请日： | 2022-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN219085927U | 公开（公告）日： | 2023-05-26 |
| 发明（设计）人： | 周天艺;陈福荣;钟虓;薛又峻;陈岩 | 申请（专利权）人： | 香港城市大学深圳福田研究院 |
| 主分类号： | H01J37/22 | 分类号： | H01J37/22;H01J37/147;H01J37/26;H01J37/28 |
| 代理公司： | 广州哲力智享知识产权代理有限公司 44494 | 代理人： | 姜国红 |
| 地址： | 518045 广东省深圳市福田区福保街道槟榔*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种快速成像系统以及透射电子显微镜，成像系统包括沿Z轴方向依次同轴布设的发射单元、磁透镜、静电偏转器以及成像单元；所述发射单元用于发射电子；所述磁透镜用于将入射的电子束以平行光束的形式出射；所述静电偏转器包括多对相互平行的偏转板，所有所述偏转板组合形成供平行光束穿过的通道，且每个所述偏转板连接有单独用于驱动所述偏转板的驱动电路，用于在XY方向上改变通过所述通道的电子束的离轴距离；所述成像单元正对所述通道，用于观察经所述通道出射的电子束斑的位置。本实用新型可以提升透射电子显微镜的成像能力，在保持空间分辨率不变的情况下提升了时间分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 快速 成像 系统 以及 透射 电子显微镜 | ||
【主权项】：
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