[发明专利]一种微型LED电极及其制备方法和微型LED芯片在审
| 申请号： | 202310004534.0 | 申请日： | 2023-01-03 |
| 公开（公告）号： | CN116014047A | 公开（公告）日： | 2023-04-25 |
| 发明（设计）人： | 蔡政银;李晗光 | 申请（专利权）人： | 深圳市思坦科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L33/40 | 分类号： | H01L33/40;H01L33/06;H01L33/08;H01L33/32;H01L33/00 |
| 代理公司： | 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 | 代理人： | 黄亚茹 |
| 地址： | 518000 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请提供一种微型LED电极及其制备方法和微型LED芯片，涉及微型LED芯片技术领域。该微型LED电极包括依次层叠设置的Ti接触层、Al合金层、Ti阻挡层和顶层金属层；所述Al合金层包括含掺杂金属的Al金属层。该微型LED电极的制备方法包括：使用双枪电子束蒸发的方式来制备Al合金层；所述Ti接触层、Ti阻挡层和顶层金属层使用热蒸发、单枪电子束蒸发或者磁控溅射的方式来制备。本申请的微型LED芯片中包括微型LED外延片和上述微型LED电极。通过在Al金属层中添加掺杂金属，避免因Al层凸起而导致的芯片产品不合格，减少了膜层间的应力影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 led 电极 及其 制备 方法 芯片 | ||
【主权项】：
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