[发明专利]用于椭偏测量的光斑检测方法和装置在审
申请号: | 202310057660.2 | 申请日: | 2023-01-20 |
公开(公告)号: | CN116007508A | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 庄源;杨翼 | 申请(专利权)人: | 睿励科学仪器(上海)有限公司 |
主分类号: | G01B11/02 | 分类号: | G01B11/02;G01B11/06;G01B11/00;G01B11/28;G01N21/21 |
代理公司: | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人: | 孟旭彤 |
地址: | 201203 上海市浦东新区*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种用于椭偏测量的光斑检测方法,包括:设置用于检测的样品,该样品具有至少2个区域,分别为区域A和区域B;椭偏测量中的入射光在所述样品表面形成光斑;在2个区域间移动所述光斑,使得入射光在区域A或区域B表面产生的反射光光强值不同;根据获得的反射光光强计算获得所述光斑的位置和/或尺寸。所述样品的区域A和区域B的反射率不同,或者,所述样品的区域A和区域B的厚度不同。本发明可以实现对整个光谱范围的不同波长的光斑尺寸和聚焦高度位置进行测量。 | ||
搜索关键词: | 用于 测量 光斑 检测 方法 装置 | ||
【主权项】:
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