[发明专利]加热器、制造加热器的方法以及用于处理基板的设备在审
| 申请号： | 202310110340.9 | 申请日： | 2023-02-14 |
| 公开（公告）号： | CN116744486A | 公开（公告）日： | 2023-09-12 |
| 发明（设计）人： | 徐钟锡 | 申请（专利权）人： | 细美事有限公司 |
| 主分类号： | H05B3/12 | 分类号： | H05B3/12;H01L21/67;G03F7/16;G03F7/40 |
| 代理公司： | 北京钲霖知识产权代理有限公司 11722 | 代理人： | 李英艳;冯志云 |
| 地址： | 韩国忠*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本公开提供了一种加热器、一种制造加热器的方法以及一种用于处理基板的设备。所述设备包括：支承构件，提供在工艺腔室中并且配置为支承所述基板；以及加热器加热元件，提供在所述支承构件中并且配置为加热所述基板，其中，所述加热器加热元件的至少一部分包括第一区，激光修整工艺被应用于所述第一区，所述加热器加热元件的至少另一部分包括第二区，在所述第二区上通过电解电镀工艺实现电阻调整材料层，并且通过执行所述激光修整工艺增加在作为所述加热器加热元件的所述至少一部分的所述第一区中产生的热量，并且通过形成所述电阻调整材料层减少在作为所述加热器加热元件的所述至少另一部分的所述第二区中产生的热量。 | ||
| 搜索关键词： | 加热器 制造 方法 以及 用于 处理 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于细美事有限公司，未经细美事有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310110340.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：加热或冷却系统的歧管设备
- 下一篇：一种改性地膜及制备方法及铺设方法
