[发明专利]一种基于二维铁电材料离子迁移多态存储器件及其制备方法在审
申请号: | 202310165386.0 | 申请日: | 2023-02-24 |
公开(公告)号: | CN116347893A | 公开(公告)日: | 2023-06-27 |
发明(设计)人: | 刘富才;宋苗苗;刘庆 | 申请(专利权)人: | 电子科技大学 |
主分类号: | H10B51/30 | 分类号: | H10B51/30;H01L29/78;H01L21/336;H01L21/28;H01L29/51;H01L29/423 |
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地址: | 611731 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: |
本发明公开了一种基于二维铁电材料离子迁移多态存储器件及其制备方法,该存储器件包括在以下三种器件结构下实现多态存储效果:1.MFMIS(金属‑铁电材料‑金属绝缘介电层‑半导体)结构。2.MFIS(金属‑铁电材料‑绝缘介电层‑半导体)。3.MFS(金属‑铁电材料‑绝缘介电层‑半导体)。其中包括支撑衬底上的导电沟道,导电沟道上设置有源极电极、漏极电极和绝缘介电层,源极电极和漏极电极分别设置于半导体沟道两端。沟道上置有石墨烯浮栅‑绝缘介电层‑CuInP |
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搜索关键词: | 一种 基于 二维 材料 离子 迁移 存储 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
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