[发明专利]一种高精度接近开关激光调修方法及系统有效
申请号: | 202310263051.2 | 申请日: | 2023-03-17 |
公开(公告)号: | CN115971664B | 公开(公告)日: | 2023-06-06 |
发明(设计)人: | 朱登川;胡生员;罗奇;廖远光;曹小建;周杰;支婉云 | 申请(专利权)人: | 深圳市大族半导体测试技术有限公司 |
主分类号: | B23K26/351 | 分类号: | B23K26/351 |
代理公司: | 北京科创易佰知识产权代理事务所(普通合伙) 16113 | 代理人: | 路忠琴 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福海*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本申请提供一种高精度接近开关激光调修方法及系统,其中该方法包括:采集高精度接近开关的闭合参数值,根据高精度接近开关的闭合参数偏差,判断高精度接近开关需要的调修模式;若判断结果为高偏差调修模式,在灵敏度控制电阻的电流传输面上添加同族金属粉末,控制恒定激光源金属熔覆接近开关的灵敏度控制电阻的电流传输面表面,以改变灵敏度控制电阻阻值,开环调修接近开关的闭合参数;若判断结果为低偏差调修模式,控制恒定激光源汽化接近开关的灵敏度控制电阻表面,并根据反馈的闭合参数调整激光调修的汽化路径,闭环调修接近开关的闭合参数,实现针对高精度接近开关的闭合参数进行调修,且能方便快捷的实现高精度接近开关的调修需求。 | ||
搜索关键词: | 一种 高精度 接近 开关 激光 方法 系统 | ||
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