[发明专利]低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材及制备方法在审
申请号: | 202310333631.4 | 申请日: | 2023-03-31 |
公开(公告)号: | CN116288190A | 公开(公告)日: | 2023-06-23 |
发明(设计)人: | 吴小超;李庆奎;任壮;王成铎;张龙振;何季麟 | 申请(专利权)人: | 郑州大学 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;B22F3/15;B22F3/04;B22F3/10;B22F1/052;C22C27/04;C22C14/00;C23C14/14 |
代理公司: | 北京卫智易创专利代理事务所(普通合伙) 16015 | 代理人: | 朱春野 |
地址: | 450001 河南省郑*** | 国省代码: | 河南;41 |
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摘要: | 本发明实施例公开了低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材及制备方法;制备方法包括:取设定量的钼粉和钛粉,在混料机中氩气氛保护下混合得到混合粉体;将混合粉体进行冷等静压成型,得到钼钛生坯;将得到的钼钛生坯进行低温真空烧结,得到预烧结坯;将预烧结坯进行热等静压烧结,得到低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材。本发明实施例公开的低氧、高致密、高塑性钼钛合金靶材的制备方法,结合真空烧结与热等静压来制备钼钛合金靶材,先使用真空预烧结除去坯体中杂质性元素,然后将预烧结坯进行热等静压烧结得到低氧、高致密以及高塑性的钼钛合金靶材,在钼钛合金靶材制备领域有良好的应用前景。 | ||
搜索关键词: | 低氧 致密 塑性 钛合金 制备 方法 | ||
【主权项】:
暂无信息
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