[发明专利]一种等离激元肖特基探测器及其制备方法和应用

摘要

本发明涉及光谱检测技术领域，尤其涉及一种等离激元肖特基探测器及其制备方法和应用。本发明提供了一种等离激元肖特基探测器，包括表面含有硅柱阵列的硅片和沉积在所述表面含有硅柱阵列的硅片的表面的金属薄膜；所述表面含有硅柱阵列的硅片包括不同的区域，不同区域中金属薄膜的厚度、硅柱阵列的直径、高度和相邻两硅柱圆心之间的距离不同；相同区域中金属薄膜的厚度、硅柱阵列的直径、高度和相邻两硅柱圆心之间的距离相同；所述等离激元肖特基探测器的尺寸为0.5～100cm。所述等离激元肖特基探测器体积小，光谱分辨率高。