[发明专利]气体流量控制系统及控制方法在审
| 申请号： | 202310395067.9 | 申请日： | 2023-04-13 |
| 公开（公告）号： | CN116520895A | 公开（公告）日： | 2023-08-01 |
| 发明（设计）人： | 王进福;魏民;李少英 | 申请（专利权）人： | 北京通嘉宏瑞科技有限公司 |
| 主分类号： | G05D7/06 | 分类号： | G05D7/06 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 徐果 |
| 地址： | 102600 北京市大兴区经济技术开发*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请提供了一种气体流量控制系统及控制方法，用于在对真空泵腔室进行清扫时控制清洁气体的通入量，气体流量控制系统包括：检测单元，检测单元包括传感器，传感器用于设置于真空泵腔室内，以检测真空泵腔室内的杂质气体的物理量信号，物理量信号用于表征真空泵腔室内的杂质气体的含量；控制单元，用于根据传感器的检测结果，确定清洁气体的需求量；执行单元，用于根据控制单元的确定结果向真空泵腔室内通入与需求量对应的清洁气体。本申请能够根据本次清扫时真空泵腔室内残存的杂质气体的剩余量选择合适的清洁气体量进行清扫操作，既可以节省清洁气体的使用量又可以缩短清扫所用时间，提高真空泵的清扫效率。 | ||
| 搜索关键词： | 气体 流量 控制系统 控制 方法 | ||
【主权项】：
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