[发明专利]一种显微检测对焦系统及对焦方法在审

专利信息
申请号: 202310578040.3 申请日: 2023-05-22
公开(公告)号: CN116661120A 公开(公告)日: 2023-08-29
发明(设计)人: 邓俊涛;王进文;王佳;谭盼;夏振义;苗丹 申请(专利权)人: 武汉精立电子技术有限公司;武汉加特林光学仪器有限公司
主分类号: G02B21/02 分类号: G02B21/02;G02B21/32;G02B21/36;G02B21/00;G02B7/09
代理公司: 武汉智权专利代理事务所(特殊普通合伙) 42225 代理人: 牛晶晶
地址: 430205 湖北省武*** 国省代码: 湖北;42
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摘要: 发明涉及一种显微检测对焦系统及对焦方法,其包括:管透镜模组,管透镜模组包括至少两个调焦管透镜,每个所述调焦管透镜均对应设置有摄像装置;微驱控制设备,所述微驱控制设备与至少两个所述调焦管透镜连接,所述微驱控制设备通过控制所述调焦管透镜调整所述摄像装置的后焦距v,使不同的所述摄像装置分别对焦至待测产品的不同层。由于显微检测对焦系统设置了至少两个调焦管透镜,每个调焦管透镜上均设置有摄像装置,同时,通过微驱控制设备可以控制至少两个调焦管透镜调整对应的摄像装置的后焦距v,实现不同的摄像装置的后焦距v不同,使不同的摄像装置能够对焦至待测产品的不同层,因此,可以实现待测产品的多层同时对焦检测,节省时间。
搜索关键词: 一种 显微 检测 对焦 系统 方法
【主权项】:
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