[发明专利]自支撑铁电薄膜的制备方法及其室温下产生铁电性的方法在审
| 申请号： | 202310621640.3 | 申请日： | 2023-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN116685148A | 公开（公告）日： | 2023-09-01 |
| 发明（设计）人： | 张军;马建春;王玲 | 申请（专利权）人： | 吕梁学院 |
| 主分类号： | H10B51/30 | 分类号： | H10B51/30 |
| 代理公司： | 北京华智则铭知识产权代理有限公司 11573 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 033001 *** | 国省代码： | 山西;14 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： |
本发明公开了一种自支撑铁电薄膜的制备方法，涉及铁电存储器件技术领域，包括：在具有牺牲层的衬底上沉积BaTiO |
||
| 搜索关键词： | 支撑 薄膜 制备 方法 及其 室温 生铁 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于吕梁学院，未经吕梁学院许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/202310621640.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
