[发明专利]一种微机械振子、F-P腔及微机械振子的制备方法在审
| 申请号： | 202310656334.3 | 申请日： | 2023-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN116812855A | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 焦世民;刘骅锋;马怡秋;周泽兵 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;G01P15/03;B81B7/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 武汉华之喻知识产权代理有限公司 42267 | 代理人： | 邓彦彦 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 本发明提供一种微机械振子、F‑P腔及微机械振子的制备方法，机械振子包括：声子晶体结构、质量块及悬浮梁；所述声子晶体结构为具有缺陷的周期性结构，所述质量块位于所述缺陷的中间，通过悬浮梁与声子晶体结构连接，以将声子晶体结构作为外框架；当机械波在微机械振子上传播时，所述声子晶体结构内的缺陷会抑制驻波传播，保证微机械振子的机械品质因子。本发明基于声子晶体结构设计的MEMS微弹簧振子，能够有效提高器件的机械品质因子，大大降低器件的机械热噪声，且本发明提供的微机械振子可以应用于光学F‑P腔加速度传感器，由于微机械振子的机械品质因子较高，故可以提高加速度传感器的分辨率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微机 械振子 制备 方法 | ||
【主权项】：
暂无信息
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