[发明专利]太赫兹近场探针针尖处理方法及装置在审
| 申请号： | 202310858210.3 | 申请日： | 2023-07-12 |
| 公开（公告）号： | CN116879584A | 公开（公告）日： | 2023-10-13 |
| 发明（设计）人： | 尹浩玮;胡旻;张栋昌;张晓秋艳;许星星;唐福 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16;G01N21/3581 |
| 代理公司： | 成都云纵知识产权代理事务所(普通合伙) 51316 | 代理人： | 刘沙粒;伍星 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 暂无信息 | 说明书： | 暂无信息 |
| 摘要： | 太赫兹近场探针针尖处理方法及装置，该方法包括以下步骤：太赫兹扫描近场显微镜控制探针针尖扫描修理层上的间隙；在扫描过程中，所述间隙的壁面撞击所述探针针尖的侧面，并在所述探针针尖形成第一段、以及位于所述第一段上方的第二段，所述第一段的横截面积从上至下逐渐减小、且第一段的最大的横截面积小于第二段的最小的横截面积。本发明能够利用太赫兹扫描近场显微镜控制探针针尖下针扫描间隙以使探针针尖侧壁在撞击间隙的过程中形貌发生变化得到多段式探针结构，该结构能够利用更细的第一段提升近场分辨率，利用更粗的第二段提高近场信噪比，在太赫兹频段更好地平衡了探针针尖的分辨率和近场信噪比。 | ||
| 搜索关键词： | 赫兹 近场 探针 针尖 处理 方法 装置 | ||
【主权项】：
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- 丁召;许筱晓 - 贵州大学
- 2017-03-27 - 2017-11-03 - G01Q70/16
- 本实用新型公开了一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置，它包括下调节支架（2），下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接触，探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16），探针棒（7）与减振筒（16）之间填充有硅胶（17）；解决了现有技术的装置在制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。
- 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法-201710344657.3
- 高思田;徐靖涛;黄鹭;施玉书;李琪 - 中国计量科学研究院
- 2017-05-16 - 2017-08-29 - G01Q70/16
- 一种用于针尖型扫描显微测量装置的特种探针的制作方法，通过电化学反应使金属丝一端形成尖锐的针尖；阻止已形成的针尖继续被腐蚀；使金属丝其他部分形成特殊几何形貌的轮廓；其制备装置包括底座、支撑立柱、钨丝定位装置、安装基板和电解槽定位装置，在底座上垂直固定有两个相互平行的支撑立柱和电解槽定位装置，两个支撑立柱的上部固定有安装基板，在安装基板上装有金属丝定位装置；还配备有电解电源和控制装置。实现了精确地控制用于制备探针的金属丝的位移；对电化学反应状态和终点进行准确的探测与控制。具有低成本、高精度地批量制作各类具有特殊形貌轮廓的优点。
- 制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法-201710187813.X
- 丁召;许筱晓 - 贵州大学
- 2017-03-27 - 2017-06-13 - G01Q70/16
- 本发明公开了一种制作扫描隧道显微镜探针设备的探针棒减振装置及方法，它包括下调节支架（2），下调节支架（2）连接中间调节托盘（15），中间调节托盘（15）上固定有减振筒（16）,探针棒（7）穿过减振筒（16）且探针棒（7）与减振筒（16）不接触，探针棒（7）的两端分别伸出减振筒（16），探针棒（7）与减振筒（16）之间填充有硅胶（17）；解决了现有技术的装置在制作扫描隧道显微镜的探针中，要产生氢气，氢气从探针棒附近的NaOH的水溶液的液面向上升入空中时，探针棒附近的液面产生波动，使探针棒产生垂直于探针轴线的横向振动，影响探针的针尖在探针轴线上，影响探针的针尖制作质量等技术问题。
- 纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法-201410315008.7
- 邢珍相;李晓旻 - 胜科纳米（苏州）有限公司
- 2014-07-03 - 2017-02-15 - G01Q70/16
- 本发明提供了一种纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法中，利用本发明所提供的纳米探针半成品加工装置，使得纳米探针半成品一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中，之后调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度，利用温度梯度的原理，影响纳米探针半成品不同部位的腐蚀速度，从而制作出符合实际应用的纳米探针，本发明所提供的纳米探针制作方法操作简单，大大降低了生产成本，且可实现批量生产。
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