[发明专利]一种碲镉汞母液制备方法在审
申请号: | 202310873282.5 | 申请日: | 2023-07-14 |
公开(公告)号: | CN116876076A | 公开(公告)日: | 2023-10-13 |
发明(设计)人: | 彭成盼;张国杰;王向斌;魏召;张宁锋 | 申请(专利权)人: | 浙江珏芯微电子有限公司 |
主分类号: | C30B19/12 | 分类号: | C30B19/12;C30B19/10;C30B29/46;C30B33/02;H01L31/0296;H01L31/101 |
代理公司: | 北京思创大成知识产权代理有限公司 11614 | 代理人: | 张立君 |
地址: | 323000 浙江省丽水市莲都*** | 国省代码: | 浙江;33 |
权利要求书: | 暂无信息 | 说明书: | 暂无信息 |
摘要: | 本发明公开了一种碲镉汞母液制备方法,包括:通过高温合成,制备具有高铟掺杂浓度的碲镉汞母液;在碲锌镉衬底上采用液相外延技术制备掺铟的碲镉汞薄膜材料;对所述掺铟的碲镉汞薄膜材料进行n型热处理之后,测定铟的掺杂浓度;将具有高铟掺杂浓度的碲镉汞母液加入至未掺杂铟的碲镉汞母液中,通过均匀化工艺,获得具有指定铟掺杂浓度的碲镉汞母液。实现铟掺杂浓度的精确控制,也提升了生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 碲镉汞 母液 制备 方法 | ||
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