[发明专利]HIPIMS层有效
| 申请号： | 201280054937.6 | 申请日： | 2012-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN103918054B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | S.克拉斯尼策尔;M.莱希塔勒 | 申请（专利权）人： | 欧瑞康贸易股份公司（特吕巴赫） |
| 主分类号： | H01J37/34 | 分类号： | H01J37/34;C23C14/34 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 石克虎,林森 |
| 地址： | 瑞士特*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | hipims | ||
【权利要求书】：
1. 在至少一个基材上通过喷雾由气相沉积PVD层体系的方法，其中该层体系包括至少一个第一层，其特征在于，至少在该方法的一个步骤中使用功率密度为至少250W/cm2的HIPIMS方法，其中使用至少5ms时间的脉冲长度，在此期间在基材上存在基材偏压，从而使在该步骤中产生的层相比于类似的层的形态具有在扫描电子显微镜下可见的更粗糙的形态，其中所述类似的层是在250μs的脉冲长度和其它相同的条件下沉积而成。
2. 根据权利要求1的方法，其特征在于，所述功率密度不超过2000W/cm2。
3. 根据上述权利要求之一的方法，其特征在于，除了至少一个第一层，在数值上较低的偏压下施加至少一个第二层。
4. 根据上述权利要求之一的方法，其特征在于，在所述方法的过程中变化所述脉冲长度，由此产生具有不同形态的HIPIMS层的层体系。
5. 根据权利要求4的方法，其特征在于，变化所述脉冲长度，从而使不同形态的层之间的过渡至少一次是逐渐的过渡。
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