[发明专利]一种涂布装置和涂布系统

权利要求书

1.一种涂布装置，用于将膜层材料涂布于基板上以形成相应膜层，包括：相互连接的涂布头和供应单元，所述供应单元用于向所述涂布头提供所述膜层材料，所述涂布头用于吐出所述膜层材料并将其涂布到所述基板上，其特征在于，还包括回收单元，用于在所述涂布头的膜层材料吐出速度和运动速度不在匀速状态时，将所述供应单元供应至所述涂布头的所述膜层材料进行回收；

所述回收单元包括回收管路、动力元件和控制元件，所述动力元件设置在所述回收管路中，所述控制元件与所述动力元件电连接；

所述回收管路用于在回收过程中对所述膜层材料进行输送，所述回收管路的入口对应位于所述涂布头的膜层材料吐出口的上方，用于吸入所述供应单元供应至所述吐出口的所述膜层材料，所述回收管路的出口与所述供应单元连接，用于将回收的所述膜层材料输出至所述供应单元；

所述动力元件用于产生回收动力，以使所述供应单元供应至所述吐出口的所述膜层材料能从所述回收管路的入口吸入，并从所述回收管路的出口输出；

所述控制元件用于判断所述涂布头的所述膜层材料吐出速度和所述运动速度是否处于匀速状态，并根据判断结果控制所述动力元件的开启和关闭；

所述供应单元包括依次连接的盛放机构、第一加压机构、缓冲机构、第二加压机构、真空脱气机构和过滤机构，所述回收管路的出口与所述盛放机构连接，所述过滤机构与所述涂布头连接；

所述盛放机构用于盛放所述膜层材料；

所述第一加压机构用于对所述盛放机构中盛放的所述膜层材料加压，以使所述盛放机构中的所述膜层材料输出至所述缓冲机构；

所述缓冲机构用于对所述膜层材料进行压力缓冲，并将其输出至所述第二加压机构中；

所述第二加压机构用于对所述膜层材料进行再次加压，以使所述膜层材料输出至所述真空脱气机构中；

所述真空脱气机构用于使所述膜层材料内部的气泡排出；

所述过滤机构用于对所述膜层材料进行过滤，并将过滤后的所述膜层材料输出至所述涂布头；

所述动力元件采用真空泵或压力泵。

2.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述控制元件包括第一采集模块、第二采集模块、判断模块和处理模块，所述第一采集模块和所述第二采集模块分别与所述判断模块连接，所述判断模块与所述处理模块连接；

所述第一采集模块用于实时采集所述涂布头的所述膜层材料吐出速度；

所述第二采集模块用于实时采集所述涂布头的所述运动速度；

所述判断模块用于判断所述涂布头的所述膜层材料吐出速度和所述运动速度是否处于匀速状态；

所述处理模块用于根据所述判断模块的判断结果对所述动力元件进行开启和关闭。

3.根据权利要求2所述的涂布装置，其特征在于，所述第一采集模块采用流量传感器，所述第二采集模块采用速度传感器。

4.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述回收单元还包括防倒流元件，所述防倒流元件设置在所述回收管路的入口处，用于在所述动力元件关闭时，防止吸入到所述回收管路内部的所述膜层材料从所述回收管路的入口流出。

5.根据权利要求1所述的涂布装置，其特征在于，所述供应单元还包括检测机构，所述检测机构与所述第一加压机构电连接，所述检测机构用于实时检测所述盛放机构中是否盛放有足量的所述膜层材料，并根据检测结果控制所述第一加压机构的开启和关闭。

6.根据权利要求5所述的涂布装置，其特征在于，所述检测机构采用液位传感器或重力传感器。

7.一种涂布系统，其特征在于，包括权利要求1-6任意一项所述的涂布装置。