[发明专利]一种涂布装置和涂布系统

说明书

技术领域

本发明涉及液晶显示器生产中的成膜技术领域，具体地，涉及一种涂布装置和涂布系统。

背景技术

液晶显示装置(LCD：Liquid Crystal Display)因其体积小、功耗低、无辐射等特点已成为目前平板显示装置中的主流产品，显示面板是液晶显示装置进行显示的主要器件。

在显示面板的生产过程中，采用涂布设备涂布形成显示面板中的一些膜层(如光刻胶膜层、栅绝缘层、钝化层、平坦层等)是常见的显示面板中膜层的制备方法。在高世代液晶显示装置的生产中，涂布设备通常采用狭缝式涂布头在基板上涂布相应的膜层材料，以形成相应的膜层。

涂布设备的基本工作过程为：涂布头以一定速度沿基板表面从基板的一侧边缘移动到相对的另一侧边缘，同时，涂布头中以一定的速度吐出膜层材料，随着涂布头的移动，膜层材料就能涂布到基板的表面以形成相应的膜层。通常，涂布设备在基板上涂布膜层材料形成相应膜层分为三个阶段：起始阶段、中间阶段和终止阶段。在起始阶段，涂布头开始从基板的一侧边缘从速度为零开始加速运动，直至加速到涂布头的运动速度达到某个既定运动速度；同步地，涂布头的吐出膜层材料的速度也开始从零加速，直至加速到某个既定的膜层材料吐出速度。在中间阶段，涂布头以既定运动速度和既定膜层材料吐出速度匀速运行。在终止阶段，涂布头在即将移动到达基板的另一侧边缘之前开始减速，直至其运动速度从既定运动速度减速为零，且其膜层材料吐出速度从既定膜层材料吐出速度减速为零。

如图1所示，涂布设备在工作的起始阶段(即T时间段内)和终止阶段(图1中未示出)，涂布头的膜层材料吐出速度曲线4和运动速度曲线5很难完美配合，这使得膜层6涂布的均匀性和稳定性很难保证，从而很容易导致膜层6涂布出现不良，使最终形成的膜层6很难达到理想的效果，同时，还降低了膜层6制备过程中的产线效率。

发明内容

本发明针对现有技术中存在的上述技术问题，提供一种涂布装置和涂布系统。该涂布装置通过设置回收单元，确保了膜层涂布的均匀性和稳定性，从而不仅改善了该涂布装置的涂布质量，而且提高了该涂布装置的工作效率。

本发明提供一种涂布装置，用于将膜层材料涂布于基板上以形成相应膜层，包括：相互连接的涂布头和供应单元，所述供应单元用于向所述涂布头提供所述膜层材料，所述涂布头用于吐出所述膜层材料并将其涂布到所述基板上，还包括回收单元，用于在所述涂布头的膜层材料吐出速度和运动速度不在匀速状态时，将所述供应单元供应至所述涂布头的所述膜层材料进行回收。

优选地，所述回收单元包括回收管路、动力元件和控制元件，所述动力元件设置在所述回收管路中，所述控制元件与所述动力元件电连接；

所述回收管路用于在回收过程中对所述膜层材料进行输送，所述回收管路的入口对应位于所述涂布头的膜层材料吐出口的上方，用于吸入所述供应单元供应至所述吐出口的所述膜层材料，所述回收管路的出口与所述供应单元连接，用于将回收的所述膜层材料输出至所述供应单元；

所述动力元件用于产生回收动力，以使所述供应单元供应至所述吐出口的所述膜层材料能从所述回收管路的入口吸入，并从所述回收管路的出口输出；

所述控制元件用于判断所述涂布头的所述膜层材料吐出速度和所述运动速度是否处于匀速状态，并根据判断结果控制所述动力元件的开启和关闭。

优选地，所述控制元件包括第一采集模块、第二采集模块、判断模块和处理模块，所述第一采集模块和所述第二采集模块分别与所述判断模块连接，所述判断模块与所述处理模块连接；

所述第一采集模块用于实时采集所述涂布头的所述膜层材料吐出速度；

所述第二采集模块用于实时采集所述涂布头的所述运动速度；

所述判断模块用于判断所述涂布头的所述膜层材料吐出速度和所述运动速度是否处于匀速状态；

所述处理模块用于根据所述判断模块的判断结果对所述动力元件进行开启和关闭。

优选地，所述第一采集模块采用流量传感器，所述第二采集模块采用速度传感器。

优选地，所述动力元件采用真空泵或压力泵。

优选地，所述回收单元还包括防倒流元件，所述防倒流元件设置在所述回收管路的入口处，用于在所述动力元件关闭时，防止吸入到所述回收管路内部的所述膜层材料从所述回收管路的入口流出。

优选地，所述供应单元包括依次连接的盛放机构、第一加压机构、缓冲机构、第二加压机构、真空脱气机构和过滤机构，所述回收管路的出口与所述盛放机构连接，所述过滤机构与所述涂布头连接；