[发明专利]第二表面激光烧蚀有效
| 申请号： | 201580053989.5 | 申请日： | 2015-10-02 |
| 公开（公告）号： | CN106794553B | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | H·A·鲁特恩;K·L·吉林斯;D·L·巴尔曼 | 申请（专利权）人： | 金泰克斯公司 |
| 主分类号： | B29C59/16 | 分类号： | B29C59/16 |
| 代理公司： | 11285 北京北翔知识产权代理有限公司 | 代理人： | 郑建晖;关丽丽 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 第二 表面 激光 | ||
1.一种从工件移除材料的方法，所述方法包括：
提供工件，所述工件包括具有第一表面和第二表面的基底、设置在所述基底的所述第二表面上的涂布层、设置在所述基底和所述涂布层之间的导电层、以及设置在所述基底的所述第一表面上的掩模；以及
将激光束导向至所述工件，使得在所述激光束撞击所述涂布层之前所述激光束从所述第一表面穿过所述基底至所述第二表面和所述导电层，从而从所述工件移除所述涂布层的一部分，其中所述导电层未被所述激光束移除；
其中，所述基底的所述第一表面和所述基底的所述第二表面是所述基底的相对的表面，使得所述掩模被设置在所述基底的、与设置有所述涂布层的第二表面相对的第一表面上，并且所述掩模选择性地防止从所述工件的部分移除所述涂布层。
2.根据权利要求1所述的方法，还包括将所述掩模设置在所述基底的所述第一表面上。
3.根据权利要求2所述的方法，其中，设置所述掩模包括光刻过程或印刷过程。
4.根据权利要求2所述的方法，其中，所述掩模为能选择性定位在所述基底的所述第一表面上的预成形的掩模。
5.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，移除所述涂布层的所述部分产生已从其移除所述涂布层的所述工件的部分，所述工件的所述部分具有小于由所述激光束产生的激光光斑的特征尺寸。
6.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，邻近已从其移除所述涂布层的所述工件的所述部分的所述涂布层的边缘具有特征长度L，所述特征长度L是其中所述涂布层的厚度从标称涂布层厚度t渐缩至零厚度的所述涂布层的所述边缘的所述部分的长度，并且L≤100μm。
7.根据权利要求6所述的方法，其中，L≤50μm。
8.根据权利要求7所述的方法，其中，L≤200nm。
9.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，邻近已从其移除所述涂布层的所述工件的所述部分的所述涂布层的边缘具有均一的形状。
10.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，邻近已从其移除所述涂布层的所述工件的所述部分的所述涂布层的边缘具有圆齿形轮廓。
11.根据权利要求10所述的方法，其中，所述圆齿的深度在所述激光束的直径的2％和8％之间。
12.根据权利要求10所述的方法，其中，所述圆齿的深度小于100μm。
13.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，所述激光束由脉冲持续时间在0.5至500皮秒的范围内的激光器产生。
14.根据权利要求1所述的方法，其中，所述导电层包括透明导电氧化物。
15.根据权利要求14所述的方法，其中，所述透明导电氧化物包括铟锡氧化物。
16.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，所述涂布层包括金属材料。
17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述金属材料包括铬。
18.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，所述涂布层包括多个层。
19.根据权利要求1至4中的任一项所述的方法，其中，邻近已从其移除所述涂布层的所述工件的所述部分的所述涂布层的边缘与所述第二表面形成一个角度，其中该角度的平均值在30°至90°的范围内。
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