[发明专利]第二表面激光烧蚀

说明书

一种从工件的对侧移除材料的方法包括将激光束导向至所述工件的第一侧以从所述工件的相对的第二侧移除材料。在第一方面中，提供了一种方法，该方法包括：提供工件，所述工件包括基底、设置在所述基底的第二表面上的涂布层、以及设置在所述基底的第一表面上的掩模；以及将激光束导向至所述工件，使得在所述激光束撞击所述涂布层之前所述激光束从所述第一表面穿过所述基底至所述第二表面，从而从所述工件移除所述涂布层的一部分。

相关申请的相互参照

本申请案要求2014年10月3日提交的美国临时专利申请第62/059,351号的权益，该申请的全部公开内容以引用方式并入本文中以用于任何和所有目的。

技术领域

本公开大体上涉及激光烧蚀过程和由该过程制备的产品。

发明内容

在第一方面，提供了一种方法，该方法包括：提供工件，该工件包括基底、设置在基底的第一表面上的涂布层、以及设置在基底的第二表面上的掩模；以及将激光束导向至工件，使得在激光束撞击涂布层之前激光束从第二表面穿过基底传输至第一表面，从而从工件移除涂布层的一部分。基底的第一表面和基底的第二表面是基底的相对的表面，并且掩模选择性地防止从工件的部分移除涂布层。该方法还可包括将掩模设置在基底的第二表面上。设置掩模可包括光刻过程或印刷过程。备选地，设置掩模可包括将预成形的掩模放置在基底的第二表面上。移除涂布层的部分可以产生已从其移除涂布层的工件的部分，工件的该部分具有小于由激光束产生的激光光斑的特征尺寸。邻近已从其移除涂布层的工件的部分的涂布层的边缘可具有特征长度L，特征长度L是其中涂布层的厚度从标称涂布层厚度t渐缩至零厚度的涂布层的边缘的部分的长度，并且L为100μm或更小。备选地，L可以是50μm或更小，例如200nm或更小。邻近已从其移除涂布层的工件的部分的涂布层的边缘可具有均一的形状。邻近已从其移除涂布层的工件的部分的涂布层的边缘可具有圆齿形轮廓。圆齿的深度可以在激光束的直径的1％和20％之间。圆齿的深度可以小于100μm。激光束可以由脉冲持续时间在0.5至500皮秒的范围内的激光器产生。工件也可包括设置在基底和涂布层之间的导电层，并且导电层未被激光束移除。导电层可包括透明导电氧化物，例如铟锡氧化物。涂布层可包括金属材料，例如铬。涂布层可包括多个层。邻近已从其移除涂布层的工件的部分的涂布层的边缘与第一基底表面可以形成在30°至90°的范围内的平均角度。从其移除涂布层的工件的部分可以显示具有0.25％或更小的透射雾度(transmission haze)，例如0.05％或更小。

在第二方面，提供了一种方法，该方法包括：提供工件，该工件包括基底和设置在基底的第一表面上的涂布层；以及通过将激光束导向至工件，使得在激光束撞击涂布层之前激光束穿过基底，从而从工件移除涂布层的一部分。激光束由脉冲持续时间在0.5至500飞秒的范围内的激光器产生。工件也可包括设置在基底的第二表面上的掩模，其中基底的第一表面和基底的第二表面是基底的相对的表面。掩模可以选择性地防止从工件的部分移除涂布层。

在第三方面，提供了一种产品，该产品包括：基底；涂布层，其设置在基底的第一表面上；以及基底的第一表面的一部分，其基本上不含涂布层。邻近基本上不含涂布层的基底的第一表面的部分的涂布层的边缘与第一基底表面形成在30°至120°的范围内的平均角度，邻近基本上不含涂布层的基底的第一表面的部分的涂布层的边缘具有特征长度L，特征长度L是其中涂布层的厚度从标称涂布层厚度t渐缩至零厚度的涂布层的边缘的部分的长度，并且L为100μm或更小。特征长度L可以是50μm或更小，例如200nm或更小。该产品也可包括导电层，该导电层设置在基底和涂布层之间以及基本上不含涂布层的基底的第一表面的部分上。涂布层可包括金属材料。基本上不含涂布层的基底的第一表面的部分可以呈现具有0.25％或更小的透射雾度，例如0.05％或更小。邻近基本上不含涂布层的基底的第一表面的部分的涂布层的边缘可具有圆齿形轮廓。圆齿的深度可以小于100μm，例如小于50μm。该产品也可包括：第一电极层；第二电极层；和电致变色层。电致变色层设置在第一电极层和第二电极层之间，并且第一电极层设置在不含涂布层的基底的第一表面的部分上。