[发明专利]硬件参数的监控方法、装置、半导体处理系统和存储介质

说明书

本发明公开了一种硬件参数的监控方法、装置、半导体处理系统和计算机可读存储介质。包括：实时获取硬件参数的实际值；将硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当硬件参数的实际值与硬件参数的目标值一致时，将硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将硬件参数的状态标记为第二状态；根据第一状态或第二状态的持续时间，判断硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。可以准确判断硬件参数是否存在异常或者硬件是否存在持续性干扰或者偶发性干扰，可以在硬件参数异常或者硬件存在持续性干扰时，中止当前工艺制程，而在硬件存在偶发性干扰时，可以不必中止当前工艺制程。能够有效提高工艺质量，降低工艺损失，提高经济效益。

技术领域

本发明涉及半导体制造技术领域，具体涉及一种硬件参数的监控方法、一种硬件参数的监控装置、一种半导体处理系统以及一种计算机可读存储介质。

背景技术

一般地，半导体处理设备在执行工艺制程时，往往需要诸如冷却设备和热交换器等附属设备的支持，以满足工艺制程的需求。对控制精度要求较高的工艺制程，对于附属设备的硬件参数的状态变化的监控提出了更高的要求，要求准确性高，实时性强。机台需要随时掌握附属设备的硬件参数的状态，便于随时根据硬件参数的状态决定工艺的终止或继续。

为了实时获取附属设备的硬件参数的状态，一般采用通过串口、以太网和通讯总线等实现监视器与附属设备的通信，以便实时获取附属设备的硬件参数的状态，并且，当附属设备的硬件参数的状态异常时，软件会触发报警，中止当前的工艺制程或者告知机台用户，以由机台用户决定是否停止当前的工艺制程。

机台软件在获取附属设备的硬件参数的状态过程中，有时会由于各种硬件干扰，例如，监视器与附属设备件的物理连接线，该物理连接线多且比较杂乱，容易存在硬件干扰，此外，半导体处理设备本身所包括的零部件比较复杂，其也会对附属设备产生硬件干扰。致使软件获取硬件参数的状态失败，通信干扰多数可以通过优化传输线缆，优化屏蔽环境来解决，但是确实存在某些偶发性的干扰，无法通过单纯硬件手段消除。

发明内容

本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种硬件参数的监控方法、一种硬件参数的监控装置、一种半导体处理系统以及一种计算机可读存储介质。

为了实现上述目的，本发明的第一方面，提供了一种硬件参数的监控方法，包括：

步骤S110、实时获取硬件参数的实际值；

步骤S120、将所述硬件参数的实际值与预设的硬件参数的目标值进行比较，并当所述硬件参数的实际值与所述硬件参数的目标值一致时，将所述硬件参数的状态标记为第一状态；反之，将所述硬件参数的状态标记为第二状态；

步骤S130、根据所述第一状态或所述第二状态的持续时间，判断所述硬件参数是否存在异常以及硬件是否存在干扰。

可选地，在步骤S110之后和步骤S120之前还包括：

S111、判断获取硬件参数的实际值是否成功，若是，执行步骤S120，若否，将硬件参数的状态标记为第二状态。

可选地，步骤S130具体包括：

当所述第一状态持续了预设时间T时，判定所述硬件参数无异常且硬件不存在干扰；

当所述第二状态持续了预设时间T时，判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰；

当所述第一状态和所述第二状态交替出现，且所述第二状态持续时间小于预设时间T时，判定所述硬件参数无异常且硬件存在偶发性干扰。

可选地，所述步骤S130还包括：

在判定所述硬件参数异常和/或硬件存在持续性干扰时，输出报警。

可选地，所述监控方法还包括在步骤S110之前进行的：