搜索结果(共计:7条)
专利号:CN202210344802.9
公布日:2023-10-24
申请人:盛美半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201911359995.X
公布日:2021-06-25
申请人:盛美半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201910886837.3
公布日:2021-03-19
申请人:盛美半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201910887418.1
公布日:2021-03-19
申请人:盛美半导体设备(上海)股份有限公司
专利号:CN201510242142.3
公布日:2019-12-24
申请人:盛美半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201410235904.2
公布日:2016-01-06
申请人:盛美半导体设备(上海)有限公司
专利号:CN201110183212.4
公布日:2011-12-28
申请人:上海新傲科技股份有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所